清华大学学报(自然科学版)
清華大學學報(自然科學版)
청화대학학보(자연과학판)
Journal of Tsinghua University
2004年
5期
657-660
,共4页
蒋培军%齐国生%徐端颐%李庆祥%范晓东%钱坤
蔣培軍%齊國生%徐耑頤%李慶祥%範曉東%錢坤
장배군%제국생%서단이%리경상%범효동%전곤
机电一体化%精密工作台%前馈控制%摩擦补偿
機電一體化%精密工作檯%前饋控製%摩抆補償
궤전일체화%정밀공작태%전궤공제%마찰보상
为实现母盘刻录机中光学头的精密进给,研制了精密微进给工作台及其伺服控制系统.利用线光栅作为工作台位移检测工具,采用数字比例积分微分(PID)伺服滤波器实现位移控制.经实验方法测定,系统摩擦可以近似为Coulomb摩擦加Stribeck效应的模型.采用了基于该模型的摩擦补偿方法以消除电机死区影响.为实现精确轨迹控制,控制系统采用了零相位误差跟踪控制(ZPETC)技术.针对高增益PID、摩擦补偿和ZPETC加摩擦补偿这3种控制方法,分别进行了轨迹跟踪实验,其轨迹误差分别为±0.8、±0.6 和±0.3 μm.
為實現母盤刻錄機中光學頭的精密進給,研製瞭精密微進給工作檯及其伺服控製繫統.利用線光柵作為工作檯位移檢測工具,採用數字比例積分微分(PID)伺服濾波器實現位移控製.經實驗方法測定,繫統摩抆可以近似為Coulomb摩抆加Stribeck效應的模型.採用瞭基于該模型的摩抆補償方法以消除電機死區影響.為實現精確軌跡控製,控製繫統採用瞭零相位誤差跟蹤控製(ZPETC)技術.針對高增益PID、摩抆補償和ZPETC加摩抆補償這3種控製方法,分彆進行瞭軌跡跟蹤實驗,其軌跡誤差分彆為±0.8、±0.6 和±0.3 μm.
위실현모반각록궤중광학두적정밀진급,연제료정밀미진급공작태급기사복공제계통.이용선광책작위공작태위이검측공구,채용수자비례적분미분(PID)사복려파기실현위이공제.경실험방법측정,계통마찰가이근사위Coulomb마찰가Stribeck효응적모형.채용료기우해모형적마찰보상방법이소제전궤사구영향.위실현정학궤적공제,공제계통채용료령상위오차근종공제(ZPETC)기술.침대고증익PID、마찰보상화ZPETC가마찰보상저3충공제방법,분별진행료궤적근종실험,기궤적오차분별위±0.8、±0.6 화±0.3 μm.
