CAJ | 학술논문

利用微波等离子体化学气相沉积(MWPCVD)方法,在刻线的镍膜上沉积碳纳米管膜.通过SEM和拉曼光谱表征,讨论了催化剂厚度、制备温度、反应时间以及甲烷浓度对碳纳米管场发射的影响.结果表明:不同条件下制备的碳纳米管的场发射性能有很大差异,保持氢气的流量(100 sccm)不变,当甲烷流量为5 sccm、生长时间为5 min、催化剂膜厚为150 nm、温度为700～800℃时,场发射性能最好,开启场强为1.3 V/μm,最大发射电流达到6.8 mA/cm2.
이용미파등리자체화학기상침적(MWPCVD)방법,재각선적얼막상침적탄납미관막.통과SEM화랍만광보표정,토론료최화제후도、제비온도、반응시간이급갑완농도대탄납미관장발사적영향.결과표명:불동조건하제비적탄납미관적장발사성능유흔대차이,보지경기적류량(100 sccm)불변,당갑완류량위5 sccm、생장시간위5 min、최화제막후위150 nm、온도위700～800℃시,장발사성능최호,개계장강위1.3 V/μm,최대발사전류체도6.8 mA/cm2.