电子工业专用设备
電子工業專用設備
전자공업전용설비
EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING
2005年
7期
34-40
,共7页
集成电路%视觉检测%粘片机
集成電路%視覺檢測%粘片機
집성전로%시각검측%점편궤
集成电路粘片机是将半导体晶圆上微芯片贴装到引线基架的半导体制造后工序关键性生产设备.基于视觉检测的全自动集成电路粘片机,其视觉检测技术是关键及核心技术.利用图像处理、模式识别技术,采用固定阈值分割、图像投影、像素统计、区域生长、边界坐标点提取、模板匹配等方法,完成了待检测芯片的定位与墨点、缺角、崩边、角度偏移等芯片缺陷的检测.实现了贴装过程中芯片识别检测功能.
集成電路粘片機是將半導體晶圓上微芯片貼裝到引線基架的半導體製造後工序關鍵性生產設備.基于視覺檢測的全自動集成電路粘片機,其視覺檢測技術是關鍵及覈心技術.利用圖像處理、模式識彆技術,採用固定閾值分割、圖像投影、像素統計、區域生長、邊界坐標點提取、模闆匹配等方法,完成瞭待檢測芯片的定位與墨點、缺角、崩邊、角度偏移等芯片缺陷的檢測.實現瞭貼裝過程中芯片識彆檢測功能.
집성전로점편궤시장반도체정원상미심편첩장도인선기가적반도체제조후공서관건성생산설비.기우시각검측적전자동집성전로점편궤,기시각검측기술시관건급핵심기술.이용도상처리、모식식별기술,채용고정역치분할、도상투영、상소통계、구역생장、변계좌표점제취、모판필배등방법,완성료대검측심편적정위여묵점、결각、붕변、각도편이등심편결함적검측.실현료첩장과정중심편식별검측공능.
