西南科技大学学报（自然科学版）
西南科技大學學報（自然科學版）
서남과기대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF SOUTHWEST UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY（SCIENCE AND TECHNOLOGY）
2006年
1期
80-82
,共3页
周自刚%廖旭%任学藻%胡小俊%段旭梅
週自剛%廖旭%任學藻%鬍小俊%段旭梅
주자강%료욱%임학조%호소준%단욱매
光波导%功分器%离子交换%玻璃
光波導%功分器%離子交換%玻璃
광파도%공분기%리자교환%파리
详细介绍了Tl+-Na+离子交换制备玻璃波导1×4功分器的工艺制作过程.首先采用BPM软件设计波导光路图,设计并制作出具有10 μm和20 μm两种线宽的1×4模板,加工出3.5 cm×1.5 cm×0.5 cm基底玻璃板.然后按照工艺在玻璃面上镀上1 μm厚度的钛膜.依照母板模型对基底玻璃板进行光刻,得到理想对称S形状的钛膜窗口.在480 ℃交换温度下,把基底玻璃板放在 Tl2SO4 ,ZnSO4的混合熔液中经过10 h的交换.一块低损耗S型多模光波导功分器形成.接着经过研磨、抛光等工艺制作出体积小、操作方便、性能稳定、光损伤小和与光纤匹配的光功分器样品.
詳細介紹瞭Tl+-Na+離子交換製備玻璃波導1×4功分器的工藝製作過程.首先採用BPM軟件設計波導光路圖,設計併製作齣具有10 μm和20 μm兩種線寬的1×4模闆,加工齣3.5 cm×1.5 cm×0.5 cm基底玻璃闆.然後按照工藝在玻璃麵上鍍上1 μm厚度的鈦膜.依照母闆模型對基底玻璃闆進行光刻,得到理想對稱S形狀的鈦膜窗口.在480 ℃交換溫度下,把基底玻璃闆放在 Tl2SO4 ,ZnSO4的混閤鎔液中經過10 h的交換.一塊低損耗S型多模光波導功分器形成.接著經過研磨、拋光等工藝製作齣體積小、操作方便、性能穩定、光損傷小和與光纖匹配的光功分器樣品.
상세개소료Tl+-Na+리자교환제비파리파도1×4공분기적공예제작과정.수선채용BPM연건설계파도광로도,설계병제작출구유10 μm화20 μm량충선관적1×4모판,가공출3.5 cm×1.5 cm×0.5 cm기저파리판.연후안조공예재파리면상도상1 μm후도적태막.의조모판모형대기저파리판진행광각,득도이상대칭S형상적태막창구.재480 ℃교환온도하,파기저파리판방재 Tl2SO4 ,ZnSO4적혼합용액중경과10 h적교환.일괴저손모S형다모광파도공분기형성.접착경과연마、포광등공예제작출체적소、조작방편、성능은정、광손상소화여광섬필배적광공분기양품.
