中国表面工程
中國錶麵工程
중국표면공정
CHINA SURFACE ENGINEERING
2006年
2期
21-24
,共4页
氧化锌镓薄膜%SiC薄膜%磁控溅射%耐腐蚀性
氧化鋅鎵薄膜%SiC薄膜%磁控濺射%耐腐蝕性
양화자가박막%SiC박막%자공천사%내부식성
利用中频磁控溅射方法,采用氧化锌镓ZGO(97.5%ZnO+2.5%Ga2O3)陶瓷靶材和SiC陶瓷靶材,制备了ZGO和SiC/ZGO复合薄膜.考察了制备SiC膜时的沉积时间、氩气压强、基底温度对其耐腐蚀保护性能的影响,同时考察了SiC薄膜对ZGO薄膜功能特性的影响.试验结果表明,提高溅射气体的压力可以增强SiC膜对ZGO薄膜的耐腐蚀保护作用,提高基底温度对提高SiC/ZGO的耐腐蚀性能的效果显著,SiC薄膜的存在对ZGO的红外反射性能有增强作用.基底温度260℃,沉积SiC膜160 s能对ZGO膜起到防腐保护作用.
利用中頻磁控濺射方法,採用氧化鋅鎵ZGO(97.5%ZnO+2.5%Ga2O3)陶瓷靶材和SiC陶瓷靶材,製備瞭ZGO和SiC/ZGO複閤薄膜.攷察瞭製備SiC膜時的沉積時間、氬氣壓彊、基底溫度對其耐腐蝕保護性能的影響,同時攷察瞭SiC薄膜對ZGO薄膜功能特性的影響.試驗結果錶明,提高濺射氣體的壓力可以增彊SiC膜對ZGO薄膜的耐腐蝕保護作用,提高基底溫度對提高SiC/ZGO的耐腐蝕性能的效果顯著,SiC薄膜的存在對ZGO的紅外反射性能有增彊作用.基底溫度260℃,沉積SiC膜160 s能對ZGO膜起到防腐保護作用.
이용중빈자공천사방법,채용양화자가ZGO(97.5%ZnO+2.5%Ga2O3)도자파재화SiC도자파재,제비료ZGO화SiC/ZGO복합박막.고찰료제비SiC막시적침적시간、아기압강、기저온도대기내부식보호성능적영향,동시고찰료SiC박막대ZGO박막공능특성적영향.시험결과표명,제고천사기체적압력가이증강SiC막대ZGO박막적내부식보호작용,제고기저온도대제고SiC/ZGO적내부식성능적효과현저,SiC박막적존재대ZGO적홍외반사성능유증강작용.기저온도260℃,침적SiC막160 s능대ZGO막기도방부보호작용.
