微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2010年
4期
207-212,222
,共7页
李永%杨红伟%陈宏泰%张世祖%彭海涛
李永%楊紅偉%陳宏泰%張世祖%彭海濤
리영%양홍위%진굉태%장세조%팽해도
大功率半导体激光器%灾变性光学镜面损伤%非辐射复合%电流非注入腔面%腔面离子铣%大光腔材料
大功率半導體激光器%災變性光學鏡麵損傷%非輻射複閤%電流非註入腔麵%腔麵離子鐉%大光腔材料
대공솔반도체격광기%재변성광학경면손상%비복사복합%전류비주입강면%강면리자선%대광강재료
首先介绍了连续激光器单管老化试验,试验通过测试不同老化时间激光器腔面的烧毁功率,对腔面烧毁发生的过程进行了分析.分析认为,大功率半导体激光器腔面烧毁失效的根本原因是腔面烧毁功率在老化过程中持续减小,最终低于激光器输出功率,造成激光器灾变性光学镜面破坏(COMD).随后对腔面烧毁的微观物理机理进行了介绍,重点讨论了腔面缺陷相关的非辐射复合、量子阱带边吸收、自由载流子吸收造成的腔面温度升高以及腔面高温导致腔面缺陷密度增加并且向腔内攀移的微观过程.最后,介绍了电流非注入腔面、大光腔材料、长腔长设计、腔面离子铣钝化工艺等腔面抗烧毁技术研究情况,并对这些技术提高腔面抗烧毁功率以及改善腔面长期稳定性的效果进行了讨论.
首先介紹瞭連續激光器單管老化試驗,試驗通過測試不同老化時間激光器腔麵的燒燬功率,對腔麵燒燬髮生的過程進行瞭分析.分析認為,大功率半導體激光器腔麵燒燬失效的根本原因是腔麵燒燬功率在老化過程中持續減小,最終低于激光器輸齣功率,造成激光器災變性光學鏡麵破壞(COMD).隨後對腔麵燒燬的微觀物理機理進行瞭介紹,重點討論瞭腔麵缺陷相關的非輻射複閤、量子阱帶邊吸收、自由載流子吸收造成的腔麵溫度升高以及腔麵高溫導緻腔麵缺陷密度增加併且嚮腔內攀移的微觀過程.最後,介紹瞭電流非註入腔麵、大光腔材料、長腔長設計、腔麵離子鐉鈍化工藝等腔麵抗燒燬技術研究情況,併對這些技術提高腔麵抗燒燬功率以及改善腔麵長期穩定性的效果進行瞭討論.
수선개소료련속격광기단관노화시험,시험통과측시불동노화시간격광기강면적소훼공솔,대강면소훼발생적과정진행료분석.분석인위,대공솔반도체격광기강면소훼실효적근본원인시강면소훼공솔재노화과정중지속감소,최종저우격광기수출공솔,조성격광기재변성광학경면파배(COMD).수후대강면소훼적미관물리궤리진행료개소,중점토론료강면결함상관적비복사복합、양자정대변흡수、자유재류자흡수조성적강면온도승고이급강면고온도치강면결함밀도증가병차향강내반이적미관과정.최후,개소료전류비주입강면、대광강재료、장강장설계、강면리자선둔화공예등강면항소훼기술연구정황,병대저사기술제고강면항소훼공솔이급개선강면장기은정성적효과진행료토론.