扬州大学学报（自然科学版）
颺州大學學報（自然科學版）
양주대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF YANGZHOU UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2010年
2期
33-36
,共4页
沈兆侠%陈荣发%孙玉利%戴良刚%张显亮%朱瑞%左敦稳
瀋兆俠%陳榮髮%孫玉利%戴良剛%張顯亮%硃瑞%左敦穩
침조협%진영발%손옥리%대량강%장현량%주서%좌돈은
单晶砷化镓%金刚石锯丝%表面质量%线速度%进给速度
單晶砷化鎵%金剛石鋸絲%錶麵質量%線速度%進給速度
단정신화가%금강석거사%표면질량%선속도%진급속도
采用金刚石线锯对直径65 mm的单晶砷化镓棒材进行切割实验,锯丝线速度分别为0.8,2.5 m·s-1,进给速度分别为0.6,1.5,2.5 mm·min-1.应用原子力显微镜 (atomic force microscopy,AFM) 测量切割后砷化镓切片的表面粗糙度,根据脆塑转变中的滑移理论分析了金刚石线锯切割砷化镓晶体的加工过程.结果表明:当进给速度为0.6 mm·min-1,线速度为2.5 m·s-1时,切割表面平整,无崩碎现象,表面粗糙度值达55.21 nm.提高线速度,表面粗糙度减小;提高进给速度,表面粗糙度增加.当进给速度较大时,提高线速度,表面粗糙度减小不明显,其主要原因是由于进给速度过高后系统振动、冲击增强所致,而锯丝磨损、磨粒脱落也是切割表面质量降低原因之一.
採用金剛石線鋸對直徑65 mm的單晶砷化鎵棒材進行切割實驗,鋸絲線速度分彆為0.8,2.5 m·s-1,進給速度分彆為0.6,1.5,2.5 mm·min-1.應用原子力顯微鏡 (atomic force microscopy,AFM) 測量切割後砷化鎵切片的錶麵粗糙度,根據脆塑轉變中的滑移理論分析瞭金剛石線鋸切割砷化鎵晶體的加工過程.結果錶明:噹進給速度為0.6 mm·min-1,線速度為2.5 m·s-1時,切割錶麵平整,無崩碎現象,錶麵粗糙度值達55.21 nm.提高線速度,錶麵粗糙度減小;提高進給速度,錶麵粗糙度增加.噹進給速度較大時,提高線速度,錶麵粗糙度減小不明顯,其主要原因是由于進給速度過高後繫統振動、遲擊增彊所緻,而鋸絲磨損、磨粒脫落也是切割錶麵質量降低原因之一.
채용금강석선거대직경65 mm적단정신화가봉재진행절할실험,거사선속도분별위0.8,2.5 m·s-1,진급속도분별위0.6,1.5,2.5 mm·min-1.응용원자력현미경 (atomic force microscopy,AFM) 측량절할후신화가절편적표면조조도,근거취소전변중적활이이론분석료금강석선거절할신화가정체적가공과정.결과표명:당진급속도위0.6 mm·min-1,선속도위2.5 m·s-1시,절할표면평정,무붕쇄현상,표면조조도치체55.21 nm.제고선속도,표면조조도감소;제고진급속도,표면조조도증가.당진급속도교대시,제고선속도,표면조조도감소불명현,기주요원인시유우진급속도과고후계통진동、충격증강소치,이거사마손、마립탈락야시절할표면질량강저원인지일.
