四川大学学报（自然科学版）
四川大學學報（自然科學版）
사천대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF SICHUAN UNIVERSITY（NATURAL SCIENCE EDITION）
2011年
6期
1371-1374
,共4页
周冰%邓爱红%张丽然%周宇璐%李悦%陈燕
週冰%鄧愛紅%張麗然%週宇璐%李悅%陳燕
주빙%산애홍%장려연%주우로%리열%진연
磁控溅射%纳米晶铜膜%X射线衍射%慢正电子束分析
磁控濺射%納米晶銅膜%X射線衍射%慢正電子束分析
자공천사%납미정동막%X사선연사%만정전자속분석
采用直流磁控溅射法,在不同的He/Ar混合气氛下,制备了不同He含量的铜膜.利用弹性反冲探测(ERD)方法探测了铜膜中氦的含量和深度分布,实验发现引入铜膜中的氦深度分布较均匀；并本文采用X射线衍射(XRD)分析了铜膜中氦的微结构,实验结果表明随着铜膜中氦含量的逐渐增加,对应Cu(111)晶面的峰强也有所增强；最后应用了慢正电子束分析(SPBA)技术测量了不同含氦铜膜的缺陷结构,随着铜膜中氦的增加,S参数会发生相应的变化.
採用直流磁控濺射法,在不同的He/Ar混閤氣氛下,製備瞭不同He含量的銅膜.利用彈性反遲探測(ERD)方法探測瞭銅膜中氦的含量和深度分佈,實驗髮現引入銅膜中的氦深度分佈較均勻；併本文採用X射線衍射(XRD)分析瞭銅膜中氦的微結構,實驗結果錶明隨著銅膜中氦含量的逐漸增加,對應Cu(111)晶麵的峰彊也有所增彊；最後應用瞭慢正電子束分析(SPBA)技術測量瞭不同含氦銅膜的缺陷結構,隨著銅膜中氦的增加,S參數會髮生相應的變化.
채용직류자공천사법,재불동적He/Ar혼합기분하,제비료불동He함량적동막.이용탄성반충탐측(ERD)방법탐측료동막중양적함량화심도분포,실험발현인입동막중적양심도분포교균균；병본문채용X사선연사(XRD)분석료동막중양적미결구,실험결과표명수착동막중양함량적축점증가,대응Cu(111)정면적봉강야유소증강；최후응용료만정전자속분석(SPBA)기술측량료불동함양동막적결함결구,수착동막중양적증가,S삼수회발생상응적변화.
