热处理技术与装备
熱處理技術與裝備
열처리기술여장비
HEAT TREATMENT TECHNOLOGY AND EQUIPMENT
2012年
2期
31-35
,共5页
纳米金刚石复合涂层%硬质合金%偏压增强热丝CVD%表面质量
納米金剛石複閤塗層%硬質閤金%偏壓增彊熱絲CVD%錶麵質量
납미금강석복합도층%경질합금%편압증강열사CVD%표면질량
采用偏压增强热丝CVD(HFCVD)法,通过引入惰性气体Ar,在经过甲醇新预处理方法处理后的硬质合金衬底表面成功沉积了微晶/纳米金刚石复合涂层.对金刚石复合涂层的表面形貌、成分、表面粗糙度进行了分析和研究.研究结果表明:新的预处理方法能够提高金刚石薄膜与衬底之间的附着强度.Ar的引入使得金刚石薄膜二次形核率更高,颗粒也更加细小,纳米金刚石复合涂层不但具有高的附着强度,而且具有非常低的表面粗糙度.对于拓展纳米金刚石涂层在精密加工领域中的应用具有一定的作用.
採用偏壓增彊熱絲CVD(HFCVD)法,通過引入惰性氣體Ar,在經過甲醇新預處理方法處理後的硬質閤金襯底錶麵成功沉積瞭微晶/納米金剛石複閤塗層.對金剛石複閤塗層的錶麵形貌、成分、錶麵粗糙度進行瞭分析和研究.研究結果錶明:新的預處理方法能夠提高金剛石薄膜與襯底之間的附著彊度.Ar的引入使得金剛石薄膜二次形覈率更高,顆粒也更加細小,納米金剛石複閤塗層不但具有高的附著彊度,而且具有非常低的錶麵粗糙度.對于拓展納米金剛石塗層在精密加工領域中的應用具有一定的作用.
채용편압증강열사CVD(HFCVD)법,통과인입타성기체Ar,재경과갑순신예처리방법처리후적경질합금츤저표면성공침적료미정/납미금강석복합도층.대금강석복합도층적표면형모、성분、표면조조도진행료분석화연구.연구결과표명:신적예처리방법능구제고금강석박막여츤저지간적부착강도.Ar적인입사득금강석박막이차형핵솔경고,과립야경가세소,납미금강석복합도층불단구유고적부착강도,이차구유비상저적표면조조도.대우탁전납미금강석도층재정밀가공영역중적응용구유일정적작용.
