中国科技信息
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중국과기신식
CHINA SCIENCE AND TECHNOLOGY INFORMATION
2012年
7期
60
,共1页
赵丽丽%高永进%张智翔%翟春雪%何崇斌
趙麗麗%高永進%張智翔%翟春雪%何崇斌
조려려%고영진%장지상%적춘설%하숭빈
溶胶—凝胶法%钛酸锶钡薄膜%掺杂%介电性能
溶膠—凝膠法%鈦痠鍶鋇薄膜%摻雜%介電性能
용효—응효법%태산송패박막%참잡%개전성능
采用溶胶—凝胶法制奋钛酸锶钡薄膜,经XRD测试薄膜的相结构,证明薄膜具有一定的择优取向性.性能测试表明,随Mn掺杂量的增加,薄膜的介电系数稳定地增加,而介电损耗在Mn含量为7.5％时最小.
採用溶膠—凝膠法製奮鈦痠鍶鋇薄膜,經XRD測試薄膜的相結構,證明薄膜具有一定的擇優取嚮性.性能測試錶明,隨Mn摻雜量的增加,薄膜的介電繫數穩定地增加,而介電損耗在Mn含量為7.5％時最小.
채용용효—응효법제강태산송패박막,경XRD측시박막적상결구,증명박막구유일정적택우취향성.성능측시표명,수Mn참잡량적증가,박막적개전계수은정지증가,이개전손모재Mn함량위7.5％시최소.
