质谱学报
質譜學報
질보학보
2004年
2期
96-99
,共4页
荣百炼%普朝光%姬荣斌%鲁燕杰
榮百煉%普朝光%姬榮斌%魯燕傑
영백련%보조광%희영빈%로연걸
质谱学%痕量杂质测定%辉光放电质谱法(GDMS)%高纯锑
質譜學%痕量雜質測定%輝光放電質譜法(GDMS)%高純銻
질보학%흔량잡질측정%휘광방전질보법(GDMS)%고순제
采用辉光放电质谱法(GDMS)对高纯半导体材料锑中的Mg、Si、S、Mn等14种痕量杂质元素进行测量.对仪器工作参数进行了优化选择,并对杂质浓度与溅射时间的关系、质谱干扰对测量的影响及测量的准确性和重现性进行了探讨.实验表明:样品经足够长时间的溅射,可以消除样品制备和处理过程中的表面污染,可以为其它高纯材料的检测提供可靠的科学依据.辉光放电质谱法是检定高纯半导体材料的理想工具.
採用輝光放電質譜法(GDMS)對高純半導體材料銻中的Mg、Si、S、Mn等14種痕量雜質元素進行測量.對儀器工作參數進行瞭優化選擇,併對雜質濃度與濺射時間的關繫、質譜榦擾對測量的影響及測量的準確性和重現性進行瞭探討.實驗錶明:樣品經足夠長時間的濺射,可以消除樣品製備和處理過程中的錶麵汙染,可以為其它高純材料的檢測提供可靠的科學依據.輝光放電質譜法是檢定高純半導體材料的理想工具.
채용휘광방전질보법(GDMS)대고순반도체재료제중적Mg、Si、S、Mn등14충흔량잡질원소진행측량.대의기공작삼수진행료우화선택,병대잡질농도여천사시간적관계、질보간우대측량적영향급측량적준학성화중현성진행료탐토.실험표명:양품경족구장시간적천사,가이소제양품제비화처리과정중적표면오염,가이위기타고순재료적검측제공가고적과학의거.휘광방전질보법시검정고순반도체재료적이상공구.
