摩擦学学报
摩抆學學報
마찰학학보
TRIBOLOGY
2007年
4期
393-397
,共5页
蒋娜娜%徐臻%陈大融%李浩群
蔣娜娜%徐臻%陳大融%李浩群
장나나%서진%진대융%리호군
空蚀%硅片%表面形貌
空蝕%硅片%錶麵形貌
공식%규편%표면형모
利用自制旋转圆盘空蚀试验装置,以流动自来水为介质,对磨片、化抛片、抛光片和刻蚀片等4种硅片进行连续8 h试验以及对磨片进行连续14 h跟踪观察试验,研究硅材料的微观破坏过程,并利用扫描电子显微镜、触针式表面形貌仪和原子力显微镜对其表面微观形貌进行分析.结果表明:经连续8 h空蚀试验后,磨片原始表面的片状层基本消失,表面破坏程度最严重,化抛片次之,其表面尖锐的边缘发生了钝化,抛光片和刻蚀片的表面变化不大;化抛片的表面粗糙度Ra值由227.79 nm降至173.31 nm,抛光片的Ra值由0.483 nm增加至3.455 nm,磨片在14 h试验后其Ra值由0.3304 μm降至0.1965 μm;一定尺度的表面微观形貌对硅材料产生显著影响.
利用自製鏇轉圓盤空蝕試驗裝置,以流動自來水為介質,對磨片、化拋片、拋光片和刻蝕片等4種硅片進行連續8 h試驗以及對磨片進行連續14 h跟蹤觀察試驗,研究硅材料的微觀破壞過程,併利用掃描電子顯微鏡、觸針式錶麵形貌儀和原子力顯微鏡對其錶麵微觀形貌進行分析.結果錶明:經連續8 h空蝕試驗後,磨片原始錶麵的片狀層基本消失,錶麵破壞程度最嚴重,化拋片次之,其錶麵尖銳的邊緣髮生瞭鈍化,拋光片和刻蝕片的錶麵變化不大;化拋片的錶麵粗糙度Ra值由227.79 nm降至173.31 nm,拋光片的Ra值由0.483 nm增加至3.455 nm,磨片在14 h試驗後其Ra值由0.3304 μm降至0.1965 μm;一定呎度的錶麵微觀形貌對硅材料產生顯著影響.
이용자제선전원반공식시험장치,이류동자래수위개질,대마편、화포편、포광편화각식편등4충규편진행련속8 h시험이급대마편진행련속14 h근종관찰시험,연구규재료적미관파배과정,병이용소묘전자현미경、촉침식표면형모의화원자력현미경대기표면미관형모진행분석.결과표명:경련속8 h공식시험후,마편원시표면적편상층기본소실,표면파배정도최엄중,화포편차지,기표면첨예적변연발생료둔화,포광편화각식편적표면변화불대;화포편적표면조조도Ra치유227.79 nm강지173.31 nm,포광편적Ra치유0.483 nm증가지3.455 nm,마편재14 h시험후기Ra치유0.3304 μm강지0.1965 μm;일정척도적표면미관형모대규재료산생현저영향.
