功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2009年
3期
223-227
,共5页
张春华%郭亨群%王国立%申继伟%徐骏%陈坤基
張春華%郭亨群%王國立%申繼偉%徐駿%陳坤基
장춘화%곽형군%왕국립%신계위%서준%진곤기
a-Si/a-SiNx超晶格%光致发光%量子限制效应%射频磁控反应溅射
a-Si/a-SiNx超晶格%光緻髮光%量子限製效應%射頻磁控反應濺射
a-Si/a-SiNx초정격%광치발광%양자한제효응%사빈자공반응천사
采用射频磁控反应溅射技术制备不同Si层厚度的a-Si/a-SiNx超晶格材料.利用红外光谱(IR)、能谱(EDS)、X射线衍射谱(XRD)、吸收谱和光致发光(PL)谱对超晶格材料的成分、结构和发光特性进行研究.结果表明,样品的光学吸收边和PL峰随着Si层的厚度的变化而发生明显偏移,观察到了明显的量子限制效应.在氮气保护下以1000℃对样品进行热退火处理,发现Si层厚的样品退火后发光峰相对于退火前发生了蓝移,这归因于样品中nc-Si颗粒的形成.
採用射頻磁控反應濺射技術製備不同Si層厚度的a-Si/a-SiNx超晶格材料.利用紅外光譜(IR)、能譜(EDS)、X射線衍射譜(XRD)、吸收譜和光緻髮光(PL)譜對超晶格材料的成分、結構和髮光特性進行研究.結果錶明,樣品的光學吸收邊和PL峰隨著Si層的厚度的變化而髮生明顯偏移,觀察到瞭明顯的量子限製效應.在氮氣保護下以1000℃對樣品進行熱退火處理,髮現Si層厚的樣品退火後髮光峰相對于退火前髮生瞭藍移,這歸因于樣品中nc-Si顆粒的形成.
채용사빈자공반응천사기술제비불동Si층후도적a-Si/a-SiNx초정격재료.이용홍외광보(IR)、능보(EDS)、X사선연사보(XRD)、흡수보화광치발광(PL)보대초정격재료적성분、결구화발광특성진행연구.결과표명,양품적광학흡수변화PL봉수착Si층적후도적변화이발생명현편이,관찰도료명현적양자한제효응.재담기보호하이1000℃대양품진행열퇴화처리,발현Si층후적양품퇴화후발광봉상대우퇴화전발생료람이,저귀인우양품중nc-Si과립적형성.
