原子能科学技术
原子能科學技術
원자능과학기술
ATOMIC ENERGY SCIENCE AND TECHNOLOGY
2010年
4期
489-493
,共5页
田恺%曹洲%薛玉雄%杨世宇
田愷%曹洲%薛玉雄%楊世宇
전개%조주%설옥웅%양세우
脉冲激光能量%重离子LET%等效计算
脈遲激光能量%重離子LET%等效計算
맥충격광능량%중리자LET%등효계산
基于重离子和脉冲激光与Si材料相互作用的机理分析,提出了脉冲激光能量等效重离子LET的等效判据.该判据认为:如果半导体材料每吸收1个光子就能产生1个载流子,则脉冲激光和重离子诱发1个载流子所需的能量是等效的.利用该等效判据及Beer定律,推导出线性吸收条件下脉冲激光能量与重离子LET之间等效换算公式.本工作计算的脉冲激光能量等效LET结果与国外文献结果一致.
基于重離子和脈遲激光與Si材料相互作用的機理分析,提齣瞭脈遲激光能量等效重離子LET的等效判據.該判據認為:如果半導體材料每吸收1箇光子就能產生1箇載流子,則脈遲激光和重離子誘髮1箇載流子所需的能量是等效的.利用該等效判據及Beer定律,推導齣線性吸收條件下脈遲激光能量與重離子LET之間等效換算公式.本工作計算的脈遲激光能量等效LET結果與國外文獻結果一緻.
기우중리자화맥충격광여Si재료상호작용적궤리분석,제출료맥충격광능량등효중리자LET적등효판거.해판거인위:여과반도체재료매흡수1개광자취능산생1개재류자,칙맥충격광화중리자유발1개재류자소수적능량시등효적.이용해등효판거급Beer정률,추도출선성흡수조건하맥충격광능량여중리자LET지간등효환산공식.본공작계산적맥충격광능량등효LET결과여국외문헌결과일치.
