机械工程学报
機械工程學報
궤계공정학보
CHINESE JOURNAL OF MECHANICAL ENGINEERING
2011年
11期
185-190
,共6页
工作台%运动控制%同步状态%同步控制
工作檯%運動控製%同步狀態%同步控製
공작태%운동공제%동보상태%동보공제
以同步扫描的运动性能为目标,研究针对步进扫描投影光刻机工作台的超精密运动与同步控制策略.结合工作台的结构特点,提出一种粗、微复合运动控制方法,即:微动台纳米级微动,粗动台微米级跟随运动;以硅片台、掩模台的三阶轨迹规划与轨迹重叠为基础,进行扫描过程中的同步状态规划;为实现纳米级的同步运动精度,进行硅片台与掩模台的动态特性比较,在此基础上提出工作台交叉反馈的同步控制策略,使掩模台实时跟踪硅片台的运动趋势,并设计同步误差模型进行运动性能评估.该方法已在100nm步进扫描投影光刻机中得到实际应用,并取得良好效果.
以同步掃描的運動性能為目標,研究針對步進掃描投影光刻機工作檯的超精密運動與同步控製策略.結閤工作檯的結構特點,提齣一種粗、微複閤運動控製方法,即:微動檯納米級微動,粗動檯微米級跟隨運動;以硅片檯、掩模檯的三階軌跡規劃與軌跡重疊為基礎,進行掃描過程中的同步狀態規劃;為實現納米級的同步運動精度,進行硅片檯與掩模檯的動態特性比較,在此基礎上提齣工作檯交扠反饋的同步控製策略,使掩模檯實時跟蹤硅片檯的運動趨勢,併設計同步誤差模型進行運動性能評估.該方法已在100nm步進掃描投影光刻機中得到實際應用,併取得良好效果.
이동보소묘적운동성능위목표,연구침대보진소묘투영광각궤공작태적초정밀운동여동보공제책략.결합공작태적결구특점,제출일충조、미복합운동공제방법,즉:미동태납미급미동,조동태미미급근수운동;이규편태、엄모태적삼계궤적규화여궤적중첩위기출,진행소묘과정중적동보상태규화;위실현납미급적동보운동정도,진행규편태여엄모태적동태특성비교,재차기출상제출공작태교차반궤적동보공제책략,사엄모태실시근종규편태적운동추세,병설계동보오차모형진행운동성능평고.해방법이재100nm보진소묘투영광각궤중득도실제응용,병취득량호효과.
