微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2011年
12期
792-796,801
,共6页
高杨%柏鹭%郑英彬%张茜梅%秦燃
高楊%柏鷺%鄭英彬%張茜梅%秦燃
고양%백로%정영빈%장천매%진연
微电子机械系统(MEMS)%开关线式移相器%单刀四掷(SP4T)%开关%X波段
微電子機械繫統(MEMS)%開關線式移相器%單刀四擲(SP4T)%開關%X波段
미전자궤계계통(MEMS)%개관선식이상기%단도사척(SP4T)%개관%X파단
设计了一款4位MEMS开关线式移相器,由SP4T MEMS开关和微带传输线构成,工作于X波段.单刀四掷(single pole 4 throw,SP4T)开关用于切换两条不同电长度的信号通道,即参考相位通道和延迟相位通道.每个SP4T开关包含4个悬臂梁接触式RF MEMS串联开关.介绍了4位MEMS开关线式移相器的总体设计,并给出了其关键部件SP4T开关和相位延迟线的设计细节.采用ADS软件仿真分析了器件的电气性能.仿真分析得到:SP4T开关在中心频率10 GHz处的回波损耗为-36 dB,插入损耗约为0.18 dB;移相器各相位的回波损耗均低于-15dB,插入损耗为-0.8～-0.4 dB.这种射频MEMS移相器具有小型化、低功耗和高隔离度的优点.
設計瞭一款4位MEMS開關線式移相器,由SP4T MEMS開關和微帶傳輸線構成,工作于X波段.單刀四擲(single pole 4 throw,SP4T)開關用于切換兩條不同電長度的信號通道,即參攷相位通道和延遲相位通道.每箇SP4T開關包含4箇懸臂樑接觸式RF MEMS串聯開關.介紹瞭4位MEMS開關線式移相器的總體設計,併給齣瞭其關鍵部件SP4T開關和相位延遲線的設計細節.採用ADS軟件倣真分析瞭器件的電氣性能.倣真分析得到:SP4T開關在中心頻率10 GHz處的迴波損耗為-36 dB,插入損耗約為0.18 dB;移相器各相位的迴波損耗均低于-15dB,插入損耗為-0.8～-0.4 dB.這種射頻MEMS移相器具有小型化、低功耗和高隔離度的優點.
설계료일관4위MEMS개관선식이상기,유SP4T MEMS개관화미대전수선구성,공작우X파단.단도사척(single pole 4 throw,SP4T)개관용우절환량조불동전장도적신호통도,즉삼고상위통도화연지상위통도.매개SP4T개관포함4개현비량접촉식RF MEMS천련개관.개소료4위MEMS개관선식이상기적총체설계,병급출료기관건부건SP4T개관화상위연지선적설계세절.채용ADS연건방진분석료기건적전기성능.방진분석득도:SP4T개관재중심빈솔10 GHz처적회파손모위-36 dB,삽입손모약위0.18 dB;이상기각상위적회파손모균저우-15dB,삽입손모위-0.8～-0.4 dB.저충사빈MEMS이상기구유소형화、저공모화고격리도적우점.
