功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2000年
4期
332-334
,共3页
砷化镓%汽泡%俄歇分析%阴极荧光
砷化鎵%汽泡%俄歇分析%陰極熒光
신화가%기포%아헐분석%음겁형광
在空间生长SI-GaAs的某些部位有汽泡产生,经俄歇分析,汽泡表面约有10nm的砷层,它从半绝缘砷化镓内部逸出,导致其成为半导体.用阴极荧光形貌观测了其多晶结构.
在空間生長SI-GaAs的某些部位有汽泡產生,經俄歇分析,汽泡錶麵約有10nm的砷層,它從半絕緣砷化鎵內部逸齣,導緻其成為半導體.用陰極熒光形貌觀測瞭其多晶結構.
재공간생장SI-GaAs적모사부위유기포산생,경아헐분석,기포표면약유10nm적신층,타종반절연신화가내부일출,도치기성위반도체.용음겁형광형모관측료기다정결구.