机械制造
機械製造
궤계제조
MACHINERY
2004年
3期
42-44
,共3页
声表面波速度%机电耦合系数%压电材料%声表面波直线型电机
聲錶麵波速度%機電耦閤繫數%壓電材料%聲錶麵波直線型電機
성표면파속도%궤전우합계수%압전재료%성표면파직선형전궤
随着微机电系统(MEMS)和声表面波技术的不断发展,设计和制造小型(微型)声表面波直线型电机成为必然的趋势.文章介绍了一种以铌酸锂/石英/硅层状结构作为压电基片,可以加工出体积足够小、理论上行程不受限制、实现二维运动的新样式电机.
隨著微機電繫統(MEMS)和聲錶麵波技術的不斷髮展,設計和製造小型(微型)聲錶麵波直線型電機成為必然的趨勢.文章介紹瞭一種以鈮痠鋰/石英/硅層狀結構作為壓電基片,可以加工齣體積足夠小、理論上行程不受限製、實現二維運動的新樣式電機.
수착미궤전계통(MEMS)화성표면파기술적불단발전,설계화제조소형(미형)성표면파직선형전궤성위필연적추세.문장개소료일충이니산리/석영/규층상결구작위압전기편,가이가공출체적족구소、이론상행정불수한제、실현이유운동적신양식전궤.
