苏州大学学报（自然科学版）
囌州大學學報（自然科學版）
소주대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF SUZHOU UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE)
2005年
4期
58-61
,共4页
Bai1-xSrxTiO3薄膜%介电性质%脉冲激光沉积
Bai1-xSrxTiO3薄膜%介電性質%脈遲激光沉積
Bai1-xSrxTiO3박막%개전성질%맥충격광침적
采用脉冲激光沉积法,在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了Ba1xSrxTiO3薄膜,通过改变Sr化学计量,研究了其介电性质.实验结果发现:随着Sr化学计量的增加,薄膜的介电系数明显增大,而损耗仍然保持在较低的水平.研究表明:薄膜介电系数的增大是由于薄膜中颗粒尺寸的减小,导致了居里温度的降低.另外,C-V特性研究发现:随着Sr化学计量的增加,薄膜的电容调谐度也有所提高.
採用脈遲激光沉積法,在Pt/Ti/SiO2/Si襯底上製備瞭Ba1xSrxTiO3薄膜,通過改變Sr化學計量,研究瞭其介電性質.實驗結果髮現:隨著Sr化學計量的增加,薄膜的介電繫數明顯增大,而損耗仍然保持在較低的水平.研究錶明:薄膜介電繫數的增大是由于薄膜中顆粒呎吋的減小,導緻瞭居裏溫度的降低.另外,C-V特性研究髮現:隨著Sr化學計量的增加,薄膜的電容調諧度也有所提高.
채용맥충격광침적법,재Pt/Ti/SiO2/Si츤저상제비료Ba1xSrxTiO3박막,통과개변Sr화학계량,연구료기개전성질.실험결과발현:수착Sr화학계량적증가,박막적개전계수명현증대,이손모잉연보지재교저적수평.연구표명:박막개전계수적증대시유우박막중과립척촌적감소,도치료거리온도적강저.령외,C-V특성연구발현:수착Sr화학계량적증가,박막적전용조해도야유소제고.
