强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2007年
3期
403-407
,共5页
沈军%罗爱云%吴广明%林雪晶%谢志勇%吴晓骀%刘春泽
瀋軍%囉愛雲%吳廣明%林雪晶%謝誌勇%吳曉駘%劉春澤
침군%라애운%오엄명%림설정%사지용%오효태%류춘택
HfO2薄膜%热处理%紫外辐照%HfO2-Al2O3复合薄膜%激光损伤阈值
HfO2薄膜%熱處理%紫外輻照%HfO2-Al2O3複閤薄膜%激光損傷閾值
HfO2박막%열처리%자외복조%HfO2-Al2O3복합박막%격광손상역치
采用化学法制备了HfO2介质膜,研究了热处理、紫外辐照以及Al2O3复合对HfO2介质膜激光损伤阈值的影响.采用红外光谱(FTIR)和X射线衍射仪对薄膜进行了表征,并用输出波长为1.064 μm、脉宽为10 ns的电光调Q激光系统测试薄膜的激光损伤阈值.实验结果表明:采用150 ℃左右的温度对薄膜进行热处理可以提高薄膜的激光损伤阈值,所获得的薄膜的激光损伤阈值高达42.32 J/cm2,比热处理前的激光损伤阈值提高了82%;无机材料Al2O3的适量添加能够提高薄膜的激光损伤阈值,其中HfO2与Al2O3的最佳质量配比约为95∶5;另外,对薄膜进行适当的紫外辐照也可改善HfO2 薄膜以及HfO2-Al2O3复合薄膜的抗激光损伤性能.紫外辐照对提高HfO2-Al2O3复合薄膜的激光损伤阈值效果尤为显著,辐照40 min后的激光损伤阈值达到44.33 J/cm2,比紫外辐照前的激光损伤阈值提高了90%.
採用化學法製備瞭HfO2介質膜,研究瞭熱處理、紫外輻照以及Al2O3複閤對HfO2介質膜激光損傷閾值的影響.採用紅外光譜(FTIR)和X射線衍射儀對薄膜進行瞭錶徵,併用輸齣波長為1.064 μm、脈寬為10 ns的電光調Q激光繫統測試薄膜的激光損傷閾值.實驗結果錶明:採用150 ℃左右的溫度對薄膜進行熱處理可以提高薄膜的激光損傷閾值,所穫得的薄膜的激光損傷閾值高達42.32 J/cm2,比熱處理前的激光損傷閾值提高瞭82%;無機材料Al2O3的適量添加能夠提高薄膜的激光損傷閾值,其中HfO2與Al2O3的最佳質量配比約為95∶5;另外,對薄膜進行適噹的紫外輻照也可改善HfO2 薄膜以及HfO2-Al2O3複閤薄膜的抗激光損傷性能.紫外輻照對提高HfO2-Al2O3複閤薄膜的激光損傷閾值效果尤為顯著,輻照40 min後的激光損傷閾值達到44.33 J/cm2,比紫外輻照前的激光損傷閾值提高瞭90%.
채용화학법제비료HfO2개질막,연구료열처리、자외복조이급Al2O3복합대HfO2개질막격광손상역치적영향.채용홍외광보(FTIR)화X사선연사의대박막진행료표정,병용수출파장위1.064 μm、맥관위10 ns적전광조Q격광계통측시박막적격광손상역치.실험결과표명:채용150 ℃좌우적온도대박막진행열처리가이제고박막적격광손상역치,소획득적박막적격광손상역치고체42.32 J/cm2,비열처리전적격광손상역치제고료82%;무궤재료Al2O3적괄량첨가능구제고박막적격광손상역치,기중HfO2여Al2O3적최가질량배비약위95∶5;령외,대박막진행괄당적자외복조야가개선HfO2 박막이급HfO2-Al2O3복합박막적항격광손상성능.자외복조대제고HfO2-Al2O3복합박막적격광손상역치효과우위현저,복조40 min후적격광손상역치체도44.33 J/cm2,비자외복조전적격광손상역치제고료90%.
