光学学报
光學學報
광학학보
ACTA OPTICA SINICA
2009年
6期
1437-1442
,共6页
周虹%宁禹%官春林%姜文汉
週虹%寧禹%官春林%薑文漢
주홍%저우%관춘림%강문한
白适应光学%耦联变形反射镜%泽尼克像差%影响函数
白適應光學%耦聯變形反射鏡%澤尼剋像差%影響函數
백괄응광학%우련변형반사경%택니극상차%영향함수
双压电片变形反射镜作为波前校正器具有结构简单、变形量大、成本低及制造周期短的优点,能代替传统分立式变形镜从而降低自适应光学系统的成本.为验证工艺的可行性和了解双压电片变形反射镜的性能,制造了一块20单元的试验样镜.样镜采用了双层压电陶瓷的结构,其中一层作整体离焦电极以校正大幅值的离焦像差.利用Veeco干涉仪测最了样镜单元电极影响函数,分析了其埘前36项Zernike像差的校正能力.结果表明,样镜对离焦像差能获得高达8μm以上的校正量,对其它高阶像差也能适量校正,但校正能力随空间频率升高而降低,显示出其适合校正低阶像差的特性.此外,讨论了不同有效孔径下样镜对Zernike像差的拟合能力.
雙壓電片變形反射鏡作為波前校正器具有結構簡單、變形量大、成本低及製造週期短的優點,能代替傳統分立式變形鏡從而降低自適應光學繫統的成本.為驗證工藝的可行性和瞭解雙壓電片變形反射鏡的性能,製造瞭一塊20單元的試驗樣鏡.樣鏡採用瞭雙層壓電陶瓷的結構,其中一層作整體離焦電極以校正大幅值的離焦像差.利用Veeco榦涉儀測最瞭樣鏡單元電極影響函數,分析瞭其塒前36項Zernike像差的校正能力.結果錶明,樣鏡對離焦像差能穫得高達8μm以上的校正量,對其它高階像差也能適量校正,但校正能力隨空間頻率升高而降低,顯示齣其適閤校正低階像差的特性.此外,討論瞭不同有效孔徑下樣鏡對Zernike像差的擬閤能力.
쌍압전편변형반사경작위파전교정기구유결구간단、변형량대、성본저급제조주기단적우점,능대체전통분입식변형경종이강저자괄응광학계통적성본.위험증공예적가행성화료해쌍압전편변형반사경적성능,제조료일괴20단원적시험양경.양경채용료쌍층압전도자적결구,기중일층작정체리초전겁이교정대폭치적리초상차.이용Veeco간섭의측최료양경단원전겁영향함수,분석료기시전36항Zernike상차적교정능력.결과표명,양경대리초상차능획득고체8μm이상적교정량,대기타고계상차야능괄량교정,단교정능력수공간빈솔승고이강저,현시출기괄합교정저계상차적특성.차외,토론료불동유효공경하양경대Zernike상차적의합능력.
