人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2010年
2期
308-312
,共5页
康朝阳%刘忠良%唐军%陈香存%徐彭寿%潘国强
康朝暘%劉忠良%唐軍%陳香存%徐彭壽%潘國彊
강조양%류충량%당군%진향존%서팽수%반국강
SiC薄膜%蓝宝石衬底%固源分子束外延
SiC薄膜%藍寶石襯底%固源分子束外延
SiC박막%람보석츤저%고원분자속외연
采用固源分子束外延(SSMBE)技术,在α-Al2O3(0001)衬底上直接制备出了SiC薄膜.利用反射式高能电子衍射(RHEED)、Raman光谱、X射线扫描、傅里叶变换红外光谱(FT-IR)、X射线衍射(XRD)等实验技术,对生长的样品的结构和结晶质量进行了表征.结果表明:在蓝宝石衬底上生长出了结晶性能良好的6H-SiC薄膜,且薄膜中存在较小的压应力,这种压应力是由薄膜与衬底之间热膨胀系数的差异所致.
採用固源分子束外延(SSMBE)技術,在α-Al2O3(0001)襯底上直接製備齣瞭SiC薄膜.利用反射式高能電子衍射(RHEED)、Raman光譜、X射線掃描、傅裏葉變換紅外光譜(FT-IR)、X射線衍射(XRD)等實驗技術,對生長的樣品的結構和結晶質量進行瞭錶徵.結果錶明:在藍寶石襯底上生長齣瞭結晶性能良好的6H-SiC薄膜,且薄膜中存在較小的壓應力,這種壓應力是由薄膜與襯底之間熱膨脹繫數的差異所緻.
채용고원분자속외연(SSMBE)기술,재α-Al2O3(0001)츤저상직접제비출료SiC박막.이용반사식고능전자연사(RHEED)、Raman광보、X사선소묘、부리협변환홍외광보(FT-IR)、X사선연사(XRD)등실험기술,대생장적양품적결구화결정질량진행료표정.결과표명:재람보석츤저상생장출료결정성능량호적6H-SiC박막,차박막중존재교소적압응력,저충압응력시유박막여츤저지간열팽창계수적차이소치.
