计量与测试技术
計量與測試技術
계량여측시기술
METROLOGY & MEASUREMENT TECHNIQUE
2011年
2期
4-5,8
,共3页
夏庚培%冯良桓%武莉莉%贺剑雄
夏庚培%馮良桓%武莉莉%賀劍雄
하경배%풍량환%무리리%하검웅
AlSb多晶薄膜%物相结构%共溅射技术%金属间化合物
AlSb多晶薄膜%物相結構%共濺射技術%金屬間化閤物
AlSb다정박막%물상결구%공천사기술%금속간화합물
综合真空共蒸发和磁控溅射的优点,发展了双靶共溅射技术用于制备新型光伏材料AlSb多晶薄膜,采用X射线衍射、X射线荧光光谱、俄歇电子能谱等测试手段结合的分析方法,系统研究了薄膜组分、衬底温度、氧杂质等因素对薄膜物相结构的影响.结果表明.薄膜中Al、Sb原子接近1:1时,不会出现Al或Sb的结晶峰;衬底温度较高的情况下,形成了AlSb金属间化合物为主的多晶薄膜,并随着衬底温度的升高其晶粒得以长大;氧严重影响了AlSb的生成和结晶.
綜閤真空共蒸髮和磁控濺射的優點,髮展瞭雙靶共濺射技術用于製備新型光伏材料AlSb多晶薄膜,採用X射線衍射、X射線熒光光譜、俄歇電子能譜等測試手段結閤的分析方法,繫統研究瞭薄膜組分、襯底溫度、氧雜質等因素對薄膜物相結構的影響.結果錶明.薄膜中Al、Sb原子接近1:1時,不會齣現Al或Sb的結晶峰;襯底溫度較高的情況下,形成瞭AlSb金屬間化閤物為主的多晶薄膜,併隨著襯底溫度的升高其晶粒得以長大;氧嚴重影響瞭AlSb的生成和結晶.
종합진공공증발화자공천사적우점,발전료쌍파공천사기술용우제비신형광복재료AlSb다정박막,채용X사선연사、X사선형광광보、아헐전자능보등측시수단결합적분석방법,계통연구료박막조분、츤저온도、양잡질등인소대박막물상결구적영향.결과표명.박막중Al、Sb원자접근1:1시,불회출현Al혹Sb적결정봉;츤저온도교고적정황하,형성료AlSb금속간화합물위주적다정박막,병수착츤저온도적승고기정립득이장대;양엄중영향료AlSb적생성화결정.
