功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2011年
z3期
477-480
,共4页
赵宗峰%鲜晓斌%唐贤臣%吉祥波
趙宗峰%鮮曉斌%唐賢臣%吉祥波
조종봉%선효빈%당현신%길상파
介电材料%Parylene F薄膜%化学气相沉积
介電材料%Parylene F薄膜%化學氣相沉積
개전재료%Parylene F박막%화학기상침적
通过真空化学气相沉积方法制备了Parylene F薄膜,采用扫描电镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)观察了表面形貌,并用红外光谱(IR)、X射线光电子能谱(XPS)及热重分析仪(TGA)等分析手段对薄膜组成与性能进行了表征,阻抗分析仪测试了薄膜的介电参数.研究结果表明化学气相沉积方法制备的Parylene F薄膜是一种致密光滑、性能较优、易于成型且具有较大潜在应用前景的介电材料.
通過真空化學氣相沉積方法製備瞭Parylene F薄膜,採用掃描電鏡(SEM)和原子力顯微鏡(AFM)觀察瞭錶麵形貌,併用紅外光譜(IR)、X射線光電子能譜(XPS)及熱重分析儀(TGA)等分析手段對薄膜組成與性能進行瞭錶徵,阻抗分析儀測試瞭薄膜的介電參數.研究結果錶明化學氣相沉積方法製備的Parylene F薄膜是一種緻密光滑、性能較優、易于成型且具有較大潛在應用前景的介電材料.
통과진공화학기상침적방법제비료Parylene F박막,채용소묘전경(SEM)화원자력현미경(AFM)관찰료표면형모,병용홍외광보(IR)、X사선광전자능보(XPS)급열중분석의(TGA)등분석수단대박막조성여성능진행료표정,조항분석의측시료박막적개전삼수.연구결과표명화학기상침적방법제비적Parylene F박막시일충치밀광활、성능교우、역우성형차구유교대잠재응용전경적개전재료.
