中国计量
中國計量
중국계량
CHINA METROLOGY
2011年
10期
110-111
,共2页
量块%研合%油膜%长度%厚度%测量准确度%组合使用%干涉法
量塊%研閤%油膜%長度%厚度%測量準確度%組閤使用%榦涉法
량괴%연합%유막%장도%후도%측량준학도%조합사용%간섭법
用绝对光波干涉法测量量块的长度时,由于量块和辅助平晶的研合质量不同,往往多次测量（甚至尺寸不大的量块）所得结果的分散性会达到（0.05~0.08）μm。因此,量块组合使用时,为了保证良好研合,常在量块表面涂上油膜。但是此层油膜的厚度会影响量块的测量准确度。
用絕對光波榦涉法測量量塊的長度時,由于量塊和輔助平晶的研閤質量不同,往往多次測量（甚至呎吋不大的量塊）所得結果的分散性會達到（0.05~0.08）μm。因此,量塊組閤使用時,為瞭保證良好研閤,常在量塊錶麵塗上油膜。但是此層油膜的厚度會影響量塊的測量準確度。
용절대광파간섭법측량량괴적장도시,유우량괴화보조평정적연합질량불동,왕왕다차측량（심지척촌불대적량괴）소득결과적분산성회체도（0.05~0.08）μm。인차,량괴조합사용시,위료보증량호연합,상재량괴표면도상유막。단시차층유막적후도회영향량괴적측량준학도。
