科教导刊
科教導刊
과교도간
THE GUIDE OF SCIENCE & EDUCATION
2009年
3期
145-146
,共2页
潘峰%周芸%储清梅%冯伟光
潘峰%週蕓%儲清梅%馮偉光
반봉%주예%저청매%풍위광
单晶硅%扩散%正交实验
單晶硅%擴散%正交實驗
단정규%확산%정교실험
加热五氧化二磷升华,用氮气携带,与硅片反应制备P-N结.本实验采用的是四因素四水平的正交实验,硅片和五氧化二磷置于封闭的石英管加热炉内进行反应,制备出的P-N结用RTS-9型双电测四探针测试仪测出方块电阻.分析了各个实验条件:反应时间t,硅片反应的温度,五氧化二磷升华温度和氮气的气流量对P-N结方块电阻的影响,反应时间t对方块电阻影响最大,其次是硅片的反应温度和氮气的气流量.
加熱五氧化二燐升華,用氮氣攜帶,與硅片反應製備P-N結.本實驗採用的是四因素四水平的正交實驗,硅片和五氧化二燐置于封閉的石英管加熱爐內進行反應,製備齣的P-N結用RTS-9型雙電測四探針測試儀測齣方塊電阻.分析瞭各箇實驗條件:反應時間t,硅片反應的溫度,五氧化二燐升華溫度和氮氣的氣流量對P-N結方塊電阻的影響,反應時間t對方塊電阻影響最大,其次是硅片的反應溫度和氮氣的氣流量.
가열오양화이린승화,용담기휴대,여규편반응제비P-N결.본실험채용적시사인소사수평적정교실험,규편화오양화이린치우봉폐적석영관가열로내진행반응,제비출적P-N결용RTS-9형쌍전측사탐침측시의측출방괴전조.분석료각개실험조건:반응시간t,규편반응적온도,오양화이린승화온도화담기적기류량대P-N결방괴전조적영향,반응시간t대방괴전조영향최대,기차시규편적반응온도화담기적기류량.
