材料导报
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재료도보
MATERIALS REVIEW
2009年
2期
80-82,90
,共4页
任明放%徐模辉%王华%许积文
任明放%徐模輝%王華%許積文
임명방%서모휘%왕화%허적문
溶胶-凝胶法%ZAO薄膜%光电性能%微观结构
溶膠-凝膠法%ZAO薄膜%光電性能%微觀結構
용효-응효법%ZAO박막%광전성능%미관결구
以普通玻璃载玻片为衬底,采用溶胶-凝胶工艺成功地制备出沿(002)晶面择优取向生长的ZAO薄膜.用XRD、SEM、紫外-可见光分光光度计和四探针电阻测试仪进行了结构和性能分析,研究了掺Al3+浓度、镀膜层数和退火温度对ZAO薄膜的晶体结构、形貌及光电性能的影响.当掺杂浓度为1%(原子分数)、镀膜层数为12层、在氩气气氛下经过600℃退火时,得到电阻率为1.37×10-2Ω·cm、可见光范围内平均透射率超过90%的ZAO薄膜.
以普通玻璃載玻片為襯底,採用溶膠-凝膠工藝成功地製備齣沿(002)晶麵擇優取嚮生長的ZAO薄膜.用XRD、SEM、紫外-可見光分光光度計和四探針電阻測試儀進行瞭結構和性能分析,研究瞭摻Al3+濃度、鍍膜層數和退火溫度對ZAO薄膜的晶體結構、形貌及光電性能的影響.噹摻雜濃度為1%(原子分數)、鍍膜層數為12層、在氬氣氣氛下經過600℃退火時,得到電阻率為1.37×10-2Ω·cm、可見光範圍內平均透射率超過90%的ZAO薄膜.
이보통파리재파편위츤저,채용용효-응효공예성공지제비출연(002)정면택우취향생장적ZAO박막.용XRD、SEM、자외-가견광분광광도계화사탐침전조측시의진행료결구화성능분석,연구료참Al3+농도、도막층수화퇴화온도대ZAO박막적정체결구、형모급광전성능적영향.당참잡농도위1%(원자분수)、도막층수위12층、재아기기분하경과600℃퇴화시,득도전조솔위1.37×10-2Ω·cm、가견광범위내평균투사솔초과90%적ZAO박막.
