物理学报
物理學報
물이학보
2008年
8期
4904-4910
,共7页
Kong Wei-Jin%云茂金%Sun Xin%刘均海%Fan Zheng-Xiu%邵建达
Kong Wei-Jin%雲茂金%Sun Xin%劉均海%Fan Zheng-Xiu%邵建達
Kong Wei-Jin%운무금%Sun Xin%류균해%Fan Zheng-Xiu%소건체
衍射效率%多层介质膜光栅%严格耦合波理论圹
衍射效率%多層介質膜光柵%嚴格耦閤波理論壙
연사효솔%다층개질막광책%엄격우합파이론광
基于严格耦合波理论建立了多层介质膜光栅的衍射机理模型,给出了TE波自准直条件下多层介质膜光栅衍射效率的表达式.以-1级衍射效率为评价函数,分析了表面浮雕结构分别为HfO2和SiO2材料的介质膜光栅获得衍射效率优于96%的结构参数.数值计算表明,顶层材料为HfO2的介质膜光栅具有更宽的结构选择范围.最后分析了介质膜光栅的制备容差和允许的入射角度范围.
基于嚴格耦閤波理論建立瞭多層介質膜光柵的衍射機理模型,給齣瞭TE波自準直條件下多層介質膜光柵衍射效率的錶達式.以-1級衍射效率為評價函數,分析瞭錶麵浮彫結構分彆為HfO2和SiO2材料的介質膜光柵穫得衍射效率優于96%的結構參數.數值計算錶明,頂層材料為HfO2的介質膜光柵具有更寬的結構選擇範圍.最後分析瞭介質膜光柵的製備容差和允許的入射角度範圍.
기우엄격우합파이론건립료다층개질막광책적연사궤리모형,급출료TE파자준직조건하다층개질막광책연사효솔적표체식.이-1급연사효솔위평개함수,분석료표면부조결구분별위HfO2화SiO2재료적개질막광책획득연사효솔우우96%적결구삼수.수치계산표명,정층재료위HfO2적개질막광책구유경관적결구선택범위.최후분석료개질막광책적제비용차화윤허적입사각도범위.
