声学与电子工程
聲學與電子工程
성학여전자공정
ACOUSTICS AND ELECTRONICS ENGINEERING
2008年
1期
37-40
,共4页
杨岳锋%段吉安%隆志力%齐斌
楊嶽鋒%段吉安%隆誌力%齊斌
양악봉%단길안%륭지력%제빈
热超声键合%PZT换能系统%有限元方法
熱超聲鍵閤%PZT換能繫統%有限元方法
열초성건합%PZT환능계통%유한원방법
在热超声键合系统中,超声换能系统是键合装备的核心部分.基于等效电路法和解析法设计,获得换能系统的基本结构尺寸;基于有限元方法建立系统的仿真模型,获得系统的振动模态特性;采用阻抗分析仪与Doppler测振仪对系统进行性能分析.实验表明实测频率与设计频率吻合,换能系统阻抗为12.7Ω,振动位移达到3.725μm,满足超声芯片封装的工艺要求.
在熱超聲鍵閤繫統中,超聲換能繫統是鍵閤裝備的覈心部分.基于等效電路法和解析法設計,穫得換能繫統的基本結構呎吋;基于有限元方法建立繫統的倣真模型,穫得繫統的振動模態特性;採用阻抗分析儀與Doppler測振儀對繫統進行性能分析.實驗錶明實測頻率與設計頻率吻閤,換能繫統阻抗為12.7Ω,振動位移達到3.725μm,滿足超聲芯片封裝的工藝要求.
재열초성건합계통중,초성환능계통시건합장비적핵심부분.기우등효전로법화해석법설계,획득환능계통적기본결구척촌;기우유한원방법건립계통적방진모형,획득계통적진동모태특성;채용조항분석의여Doppler측진의대계통진행성능분석.실험표명실측빈솔여설계빈솔문합,환능계통조항위12.7Ω,진동위이체도3.725μm,만족초성심편봉장적공예요구.
