材料研究学报
材料研究學報
재료연구학보
CHINESE JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH
2007年
6期
609-612
,共4页
何少伟%黄鹰%戴君%赖建军%王兴治%易新建
何少偉%黃鷹%戴君%賴建軍%王興治%易新建
하소위%황응%대군%뢰건군%왕흥치%역신건
无机非金属材料%纳米二氧化钒薄膜%非致冷红外探测器%电阻温度系数(TCR)
無機非金屬材料%納米二氧化釩薄膜%非緻冷紅外探測器%電阻溫度繫數(TCR)
무궤비금속재료%납미이양화범박막%비치랭홍외탐측기%전조온도계수(TCR)
用离子束溅射和后退火工艺制备了一种适用于微测辐射热探测器热敏材料的新型纳米结构二氧化钒(VO2)薄膜材料,薄膜具有平均粒度8 nm,在半导体相区具有电阻温度系数(TCR)为-7%/K,性能高于传统的VO2材料(平均粒度为1-2μm,在半导体相区具有TCR约为-2%/K).基于纳米结构的VO2薄膜材料的器件比基于传统的VO2薄膜材料具有更高的性能,而两者的噪声基本相当.
用離子束濺射和後退火工藝製備瞭一種適用于微測輻射熱探測器熱敏材料的新型納米結構二氧化釩(VO2)薄膜材料,薄膜具有平均粒度8 nm,在半導體相區具有電阻溫度繫數(TCR)為-7%/K,性能高于傳統的VO2材料(平均粒度為1-2μm,在半導體相區具有TCR約為-2%/K).基于納米結構的VO2薄膜材料的器件比基于傳統的VO2薄膜材料具有更高的性能,而兩者的譟聲基本相噹.
용리자속천사화후퇴화공예제비료일충괄용우미측복사열탐측기열민재료적신형납미결구이양화범(VO2)박막재료,박막구유평균립도8 nm,재반도체상구구유전조온도계수(TCR)위-7%/K,성능고우전통적VO2재료(평균립도위1-2μm,재반도체상구구유TCR약위-2%/K).기우납미결구적VO2박막재료적기건비기우전통적VO2박막재료구유경고적성능,이량자적조성기본상당.
