上海师范大学学报（自然科学版）
上海師範大學學報（自然科學版）
상해사범대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF SHANGHAI TEACHERS UNIVERSITY(NATURAL SCIENCES)
2007年
5期
37-40
,共4页
PZT材料%表面形貌%择优生长%SEM%X射线衍射
PZT材料%錶麵形貌%擇優生長%SEM%X射線衍射
PZT재료%표면형모%택우생장%SEM%X사선연사
用电子束蒸发法在n-Si(100)衬底上制备了Pb(Zr0.52Ti0.48)O3(PZT)多晶薄膜,研究了薄膜的表面形貌、结晶特性、红外吸收特性随生长温度和退火温度的变化关系,发现较高的生长温度有利于(101)方向晶粒的择优生长,较高的退火温度能促进(101)方向的晶粒向(110)方向的晶粒转变,(110)择优方向的薄膜对长红外波段的吸收比(101)择优方向的薄膜明显增强.
用電子束蒸髮法在n-Si(100)襯底上製備瞭Pb(Zr0.52Ti0.48)O3(PZT)多晶薄膜,研究瞭薄膜的錶麵形貌、結晶特性、紅外吸收特性隨生長溫度和退火溫度的變化關繫,髮現較高的生長溫度有利于(101)方嚮晶粒的擇優生長,較高的退火溫度能促進(101)方嚮的晶粒嚮(110)方嚮的晶粒轉變,(110)擇優方嚮的薄膜對長紅外波段的吸收比(101)擇優方嚮的薄膜明顯增彊.
용전자속증발법재n-Si(100)츤저상제비료Pb(Zr0.52Ti0.48)O3(PZT)다정박막,연구료박막적표면형모、결정특성、홍외흡수특성수생장온도화퇴화온도적변화관계,발현교고적생장온도유리우(101)방향정립적택우생장,교고적퇴화온도능촉진(101)방향적정립향(110)방향적정립전변,(110)택우방향적박막대장홍외파단적흡수비(101)택우방향적박막명현증강.
