应用光学
應用光學
응용광학
JOURNAL OF APPLIED OPTICS
2007年
5期
645-648
,共4页
王建华%范开果%刘志锋%孙建平%张金涛%王哲
王建華%範開果%劉誌鋒%孫建平%張金濤%王哲
왕건화%범개과%류지봉%손건평%장금도%왕철
线膨胀系数%激光干涉仪%单晶硅
線膨脹繫數%激光榦涉儀%單晶硅
선팽창계수%격광간섭의%단정규
利用中国计量科学研究院自行设计的基于激光干涉法的材料线膨胀系数测量装置进行了材料线膨胀系数测量试验.该装置采用单频激光干涉,对称光路设计,其干涉仪分辨率小于1 nm.实验过程中改进并完善了该装置,重新设计了加热炉,改进了实验方法,使该装置在800 K以上的高温环境下能进行材料线膨胀系数的测量.在800 K到1 200 K温度范围内,对单晶硅试样采用分段加热进行测量,并对样品变化过程及测量结果作了分析,得到了单晶硅线膨胀系数的曲线,实现了在1 200 K环境下采用激光干涉法材料线膨胀系数的纳米级测量.
利用中國計量科學研究院自行設計的基于激光榦涉法的材料線膨脹繫數測量裝置進行瞭材料線膨脹繫數測量試驗.該裝置採用單頻激光榦涉,對稱光路設計,其榦涉儀分辨率小于1 nm.實驗過程中改進併完善瞭該裝置,重新設計瞭加熱爐,改進瞭實驗方法,使該裝置在800 K以上的高溫環境下能進行材料線膨脹繫數的測量.在800 K到1 200 K溫度範圍內,對單晶硅試樣採用分段加熱進行測量,併對樣品變化過程及測量結果作瞭分析,得到瞭單晶硅線膨脹繫數的麯線,實現瞭在1 200 K環境下採用激光榦涉法材料線膨脹繫數的納米級測量.
이용중국계량과학연구원자행설계적기우격광간섭법적재료선팽창계수측량장치진행료재료선팽창계수측량시험.해장치채용단빈격광간섭,대칭광로설계,기간섭의분변솔소우1 nm.실험과정중개진병완선료해장치,중신설계료가열로,개진료실험방법,사해장치재800 K이상적고온배경하능진행재료선팽창계수적측량.재800 K도1 200 K온도범위내,대단정규시양채용분단가열진행측량,병대양품변화과정급측량결과작료분석,득도료단정규선팽창계수적곡선,실현료재1 200 K배경하채용격광간섭법재료선팽창계수적납미급측량.
