光电子·激光
光電子·激光
광전자·격광
JOURNAL OF OPTOECTRONICS·LASER
2007年
9期
1078-1081
,共4页
薛小琳%韩彦军%张贤鹏%江洋%马洪霞%刘中涛%罗毅
薛小琳%韓彥軍%張賢鵬%江洋%馬洪霞%劉中濤%囉毅
설소림%한언군%장현붕%강양%마홍하%류중도%라의
蓝宝石(Al2O3)%感应耦合等离子体(ICP)刻蚀%Ar/BCl3%表面平整度%刻蚀速率
藍寶石(Al2O3)%感應耦閤等離子體(ICP)刻蝕%Ar/BCl3%錶麵平整度%刻蝕速率
람보석(Al2O3)%감응우합등리자체(ICP)각식%Ar/BCl3%표면평정도%각식속솔
利用Ar/BCl3、Cl2/BCl3和SF6/BCl3感应耦合等离子体(ICP),研究了蓝宝石(Al2O3)材料的干法刻蚀特性.实验表明,优化BCl3含量(80%),可以提高对Al2O3衬底的刻蚀速率;在BCl3刻蚀气体中加入20%的Ar气可以在高刻蚀速率下同时获得优于未刻蚀Al2O3衬底表面的光滑刻蚀表面和较好的刻蚀侧壁,原子力显微镜(AFM)分析得到最优刻蚀平整度为0.039 nm,俄歇电子能谱(AES)分析其归一化Al/O原子比为0.94.
利用Ar/BCl3、Cl2/BCl3和SF6/BCl3感應耦閤等離子體(ICP),研究瞭藍寶石(Al2O3)材料的榦法刻蝕特性.實驗錶明,優化BCl3含量(80%),可以提高對Al2O3襯底的刻蝕速率;在BCl3刻蝕氣體中加入20%的Ar氣可以在高刻蝕速率下同時穫得優于未刻蝕Al2O3襯底錶麵的光滑刻蝕錶麵和較好的刻蝕側壁,原子力顯微鏡(AFM)分析得到最優刻蝕平整度為0.039 nm,俄歇電子能譜(AES)分析其歸一化Al/O原子比為0.94.
이용Ar/BCl3、Cl2/BCl3화SF6/BCl3감응우합등리자체(ICP),연구료람보석(Al2O3)재료적간법각식특성.실험표명,우화BCl3함량(80%),가이제고대Al2O3츤저적각식속솔;재BCl3각식기체중가입20%적Ar기가이재고각식속솔하동시획득우우미각식Al2O3츤저표면적광활각식표면화교호적각식측벽,원자력현미경(AFM)분석득도최우각식평정도위0.039 nm,아헐전자능보(AES)분석기귀일화Al/O원자비위0.94.
