北京工商大学学报（自然科学版）
北京工商大學學報（自然科學版）
북경공상대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF BEIJING TECHNOLOGY AND BUSINESS UNIVERSITY（NATURAL SCIENCE EDITION）
2007年
4期
18-22
,共5页
吕良%邓中亮%刘玉德%连美霞
呂良%鄧中亮%劉玉德%連美霞
려량%산중량%류옥덕%련미하
汽车传感器%MEMS技术%智能传感器系统
汽車傳感器%MEMS技術%智能傳感器繫統
기차전감기%MEMS기술%지능전감기계통
随着汽车传感器的迅速发展和MEMS技术的深入研究,基于MEMS技术的汽车传感器具有广阔的应用前景. 本文从传感器原理、MEMS技术理论与制造工艺、智能传感器理论与控制算法、软件与硬件实现、以及集成原理与工艺等几个方面,综合运用MEMS技术、人工智能、信息融合、半导体加工等先进技术,研究基于MEMS技术的智能集成汽车传感器问题. 最后对MEMS汽车传感器今后的发展研究进行了探讨.
隨著汽車傳感器的迅速髮展和MEMS技術的深入研究,基于MEMS技術的汽車傳感器具有廣闊的應用前景. 本文從傳感器原理、MEMS技術理論與製造工藝、智能傳感器理論與控製算法、軟件與硬件實現、以及集成原理與工藝等幾箇方麵,綜閤運用MEMS技術、人工智能、信息融閤、半導體加工等先進技術,研究基于MEMS技術的智能集成汽車傳感器問題. 最後對MEMS汽車傳感器今後的髮展研究進行瞭探討.
수착기차전감기적신속발전화MEMS기술적심입연구,기우MEMS기술적기차전감기구유엄활적응용전경. 본문종전감기원리、MEMS기술이론여제조공예、지능전감기이론여공제산법、연건여경건실현、이급집성원리여공예등궤개방면,종합운용MEMS기술、인공지능、신식융합、반도체가공등선진기술,연구기우MEMS기술적지능집성기차전감기문제. 최후대MEMS기차전감기금후적발전연구진행료탐토.
