稀有金属材料与工程
稀有金屬材料與工程
희유금속재료여공정
RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERNG
2007年
z1期
896-899
,共4页
冉均国%王灿丽%苟立%冉旭%苏葆辉%李德贵%廖晓明
冉均國%王燦麗%茍立%冉旭%囌葆輝%李德貴%廖曉明
염균국%왕찬려%구립%염욱%소보휘%리덕귀%료효명
金刚石薄膜%微波等离子体%二氧化碳%沉积速率
金剛石薄膜%微波等離子體%二氧化碳%沉積速率
금강석박막%미파등리자체%이양화탄%침적속솔
微波等离子体法合成的金刚石薄膜质量好,但常规小型微波等离子体沉积金刚石薄膜速率低,为此,本实验在H2-CH4系统中引入CO2来提高金刚石薄膜的沉积速率.研究了不同碳源体积分数、功率、压力对沉积速率、金刚石形貌、电阻率的影响.其规律是随着碳源体积分数的增加,金刚石膜的沉积速率增加;随着压力的增加,生长速率呈现一个先增后减的趋势;随着功率的增加,也存在一个先增后降的趋势.研究结果表明碳源体积分数对沉积速率影响最大.综合各种因素,得到在H2+CH4+CO2的条件下沉积金刚石薄膜的最佳工艺条件为:碳源体积分数为0.63%;C/O=1.086;功率为490 W;压力为5.33 kPa.引入CO2使沉积速率得到提高,为常规方法沉积速率的3倍左右,表明引入CO2.是一种提高沉积速率的有效方法.
微波等離子體法閤成的金剛石薄膜質量好,但常規小型微波等離子體沉積金剛石薄膜速率低,為此,本實驗在H2-CH4繫統中引入CO2來提高金剛石薄膜的沉積速率.研究瞭不同碳源體積分數、功率、壓力對沉積速率、金剛石形貌、電阻率的影響.其規律是隨著碳源體積分數的增加,金剛石膜的沉積速率增加;隨著壓力的增加,生長速率呈現一箇先增後減的趨勢;隨著功率的增加,也存在一箇先增後降的趨勢.研究結果錶明碳源體積分數對沉積速率影響最大.綜閤各種因素,得到在H2+CH4+CO2的條件下沉積金剛石薄膜的最佳工藝條件為:碳源體積分數為0.63%;C/O=1.086;功率為490 W;壓力為5.33 kPa.引入CO2使沉積速率得到提高,為常規方法沉積速率的3倍左右,錶明引入CO2.是一種提高沉積速率的有效方法.
미파등리자체법합성적금강석박막질량호,단상규소형미파등리자체침적금강석박막속솔저,위차,본실험재H2-CH4계통중인입CO2래제고금강석박막적침적속솔.연구료불동탄원체적분수、공솔、압력대침적속솔、금강석형모、전조솔적영향.기규률시수착탄원체적분수적증가,금강석막적침적속솔증가;수착압력적증가,생장속솔정현일개선증후감적추세;수착공솔적증가,야존재일개선증후강적추세.연구결과표명탄원체적분수대침적속솔영향최대.종합각충인소,득도재H2+CH4+CO2적조건하침적금강석박막적최가공예조건위:탄원체적분수위0.63%;C/O=1.086;공솔위490 W;압력위5.33 kPa.인입CO2사침적속솔득도제고,위상규방법침적속솔적3배좌우,표명인입CO2.시일충제고침적속솔적유효방법.
