宽调谐范围垂直腔面发射激光器特性分析及设计
관조해범위수직강면발사격광기특성분석급설계
Investigation and design of widely tunable vertical-cavity surface emitting lasers
  • 万方数据
    物理学报 물이학보

    2007年 8期 4585-4589 ,共5页

    关宝璐%郭霞%杨浩%梁庭%顾晓玲%郭晶%邓军%高国%沈光地

    관보로%곽하%양호%량정%고효령%곽정%산군%고국%침광지

    悬臂梁%可调谐垂直腔面发射激光器 懸臂樑%可調諧垂直腔麵髮射激光器
    현비량%가조해수직강면발사격광기
    运用光学传输矩阵和有限元方法对波长可调谐垂直腔面发射激光器(VCSELs)的波长调谐范围进行了研究.对中心波长为980 nm的可调谐VCSELs的波长调谐特性和微电子机械系统(MEMS)悬臂梁结构进行了设计,并进行了实验研究.结果表明,MEMS可调谐VCSELs调谐特性同时受到光波谐振腔结构和悬臂梁最大位移的共同影响.在悬臂梁几何尺寸和激光器有源区结构一定的条件下,通过优化可调谐VCSELs的牺牲层厚度可实现大范围波长调谐.同时,对可调谐VCSELs整体结构进行了设计,计算结果显示波长调谐范围达到30 nm以上,调谐效率达到0.12,调谐过程中所有激射波长都处在InGaAs/GaAs量子阱高增益区.
    운용광학전수구진화유한원방법대파장가조해수직강면발사격광기(VCSELs)적파장조해범위진행료연구.대중심파장위980 nm적가조해VCSELs적파장조해특성화미전자궤계계통(MEMS)현비량결구진행료설계,병진행료실험연구.결과표명,MEMS가조해VCSELs조해특성동시수도광파해진강결구화현비량최대위이적공동영향.재현비량궤하척촌화격광기유원구결구일정적조건하,통과우화가조해VCSELs적희생층후도가실현대범위파장조해.동시,대가조해VCSELs정체결구진행료설계,계산결과현시파장조해범위체도30 nm이상,조해효솔체도0.12,조해과정중소유격사파장도처재InGaAs/GaAs양자정고증익구.
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