材料导报
材料導報
재료도보
MATERIALS REVIEW
2007年
3期
123-125
,共3页
夏庆锋%杨德仁%马向阳%阙端麟
夏慶鋒%楊德仁%馬嚮暘%闕耑麟
하경봉%양덕인%마향양%궐단린
缺陷%SOI材料%表征%SIMOX
缺陷%SOI材料%錶徵%SIMOX
결함%SOI재료%표정%SIMOX
简述了利用注氧隔离法(SIMOX)制备的SOI材料中产生的一些不同于体硅材料的特殊缺陷,涉及表面缺陷、Si/SiO2界面缺陷和埋氧层缺陷,包括这些缺陷的产生机制、表征方法以及一些降低和消除措施.
簡述瞭利用註氧隔離法(SIMOX)製備的SOI材料中產生的一些不同于體硅材料的特殊缺陷,涉及錶麵缺陷、Si/SiO2界麵缺陷和埋氧層缺陷,包括這些缺陷的產生機製、錶徵方法以及一些降低和消除措施.
간술료이용주양격리법(SIMOX)제비적SOI재료중산생적일사불동우체규재료적특수결함,섭급표면결함、Si/SiO2계면결함화매양층결함,포괄저사결함적산생궤제、표정방법이급일사강저화소제조시.
