中国科学技术大学学报
中國科學技術大學學報
중국과학기술대학학보
JOURNAL OF UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY OF CHINA
2006年
5期
567-572
,共6页
张天林%郭哲颖%张青川%张泰华%何世平
張天林%郭哲穎%張青川%張泰華%何世平
장천림%곽철영%장청천%장태화%하세평
微悬臂梁式传感器%红外探测器%弹性模量%谱面滤波%多普勒测振仪%纳米硬度计
微懸臂樑式傳感器%紅外探測器%彈性模量%譜麵濾波%多普勒測振儀%納米硬度計
미현비량식전감기%홍외탐측기%탄성모량%보면려파%다보륵측진의%납미경도계
利用一种静态和两种动态的检测技术,对红外辐射探测微悬臂梁式传感器材料的弹性模量进行了测试研究.在静态检测实验中,利用纳米硬度计直接测出传感器材料的弹性模量;在动态实验中,分别利用谱平面光学滤波法和多普勒测振仪得到微悬臂梁传感器结构的固有频率,再结合数值模拟计算求出传感器的等效弹性模量.通过几种检测结果的分析和比较,获得了更加精确的微梁传感器单元的弹性模量值,为微梁的优化设计和评估提供了可靠的参数.
利用一種靜態和兩種動態的檢測技術,對紅外輻射探測微懸臂樑式傳感器材料的彈性模量進行瞭測試研究.在靜態檢測實驗中,利用納米硬度計直接測齣傳感器材料的彈性模量;在動態實驗中,分彆利用譜平麵光學濾波法和多普勒測振儀得到微懸臂樑傳感器結構的固有頻率,再結閤數值模擬計算求齣傳感器的等效彈性模量.通過幾種檢測結果的分析和比較,穫得瞭更加精確的微樑傳感器單元的彈性模量值,為微樑的優化設計和評估提供瞭可靠的參數.
이용일충정태화량충동태적검측기술,대홍외복사탐측미현비량식전감기재료적탄성모량진행료측시연구.재정태검측실험중,이용납미경도계직접측출전감기재료적탄성모량;재동태실험중,분별이용보평면광학려파법화다보륵측진의득도미현비량전감기결구적고유빈솔,재결합수치모의계산구출전감기적등효탄성모량.통과궤충검측결과적분석화비교,획득료경가정학적미량전감기단원적탄성모량치,위미량적우화설계화평고제공료가고적삼수.
