半导体光电
半導體光電
반도체광전
SEMICONDUCTOR OPTOELECTRONICS
2006年
1期
34-36
,共3页
贾翠萍%董玮%徐宝琨%周敬然%王丹%陈维友
賈翠萍%董瑋%徐寶琨%週敬然%王丹%陳維友
가취평%동위%서보곤%주경연%왕단%진유우
KOH%(110)硅片%锯齿状沟槽%凸角
KOH%(110)硅片%鋸齒狀溝槽%凸角
KOH%(110)규편%거치상구조%철각
利用(110)硅片在KOH溶液中各向异性腐蚀制作出两个互相垂直的光纤定位槽.由于在该方位腐蚀出的不标准的V型槽,难以对此精确设计来固定光纤.设计了利用KOH溶液定向腐蚀制作出的平行四边形蚀坑串,所形成的锯齿状沟槽结构来固定光纤.依据硅的各向异性腐蚀特性对平行四边形蚀坑尺寸进行了分析设计.由于腐蚀过程中锐角凸角和钝角凸角产生的削角面不一致,致使锯齿状沟槽精确固定光纤产生偏差,设计采用菱形凸角补偿结构进行完善,从而达到精确固定光纤的目的.
利用(110)硅片在KOH溶液中各嚮異性腐蝕製作齣兩箇互相垂直的光纖定位槽.由于在該方位腐蝕齣的不標準的V型槽,難以對此精確設計來固定光纖.設計瞭利用KOH溶液定嚮腐蝕製作齣的平行四邊形蝕坑串,所形成的鋸齒狀溝槽結構來固定光纖.依據硅的各嚮異性腐蝕特性對平行四邊形蝕坑呎吋進行瞭分析設計.由于腐蝕過程中銳角凸角和鈍角凸角產生的削角麵不一緻,緻使鋸齒狀溝槽精確固定光纖產生偏差,設計採用蔆形凸角補償結構進行完善,從而達到精確固定光纖的目的.
이용(110)규편재KOH용액중각향이성부식제작출량개호상수직적광섬정위조.유우재해방위부식출적불표준적V형조,난이대차정학설계래고정광섬.설계료이용KOH용액정향부식제작출적평행사변형식갱천,소형성적거치상구조결구래고정광섬.의거규적각향이성부식특성대평행사변형식갱척촌진행료분석설계.유우부식과정중예각철각화둔각철각산생적삭각면불일치,치사거치상구조정학고정광섬산생편차,설계채용릉형철각보상결구진행완선,종이체도정학고정광섬적목적.
