真空电子技术
真空電子技術
진공전자기술
VACUUM ELECTRONICS
2006年
1期
12-14,25
,共4页
储开荣%狄云松%陈静%杨夏喜%雷威%张晓兵
儲開榮%狄雲鬆%陳靜%楊夏喜%雷威%張曉兵
저개영%적운송%진정%양하희%뢰위%장효병
场致发射显示板%三极结构%前栅极%碳纳米管%HOP玻璃
場緻髮射顯示闆%三極結構%前柵極%碳納米管%HOP玻璃
장치발사현시판%삼겁결구%전책겁%탄납미관%HOP파리
传统的前栅极场致发射显示板由于介质层和栅极的制作在生成或制作阴极场致发射源之后,在制造过程中容易破坏场致发射源;另外阴极发射对介质层厚度、阳极电压和调制极开口等参数非常敏感,所以器件的发射均匀性难以保证.为了解决这些问题,引入了类似HOP玻璃的结构.阴极上只需要丝印碳纳米管,无需制作介质层和栅极,解决了场致发射源被破坏的问题.阴极与栅极之间真空取代了介质层,由于真空的绝缘性能高于介质层,所以阴极与栅极之间的距离可以减小,栅极的调制效果更显著.由于玻璃的平整度高于一般方法制作的介质层的平整度,所以器件的发射均匀性比较好.
傳統的前柵極場緻髮射顯示闆由于介質層和柵極的製作在生成或製作陰極場緻髮射源之後,在製造過程中容易破壞場緻髮射源;另外陰極髮射對介質層厚度、暘極電壓和調製極開口等參數非常敏感,所以器件的髮射均勻性難以保證.為瞭解決這些問題,引入瞭類似HOP玻璃的結構.陰極上隻需要絲印碳納米管,無需製作介質層和柵極,解決瞭場緻髮射源被破壞的問題.陰極與柵極之間真空取代瞭介質層,由于真空的絕緣性能高于介質層,所以陰極與柵極之間的距離可以減小,柵極的調製效果更顯著.由于玻璃的平整度高于一般方法製作的介質層的平整度,所以器件的髮射均勻性比較好.
전통적전책겁장치발사현시판유우개질층화책겁적제작재생성혹제작음겁장치발사원지후,재제조과정중용역파배장치발사원;령외음겁발사대개질층후도、양겁전압화조제겁개구등삼수비상민감,소이기건적발사균균성난이보증.위료해결저사문제,인입료유사HOP파리적결구.음겁상지수요사인탄납미관,무수제작개질층화책겁,해결료장치발사원피파배적문제.음겁여책겁지간진공취대료개질층,유우진공적절연성능고우개질층,소이음겁여책겁지간적거리가이감소,책겁적조제효과경현저.유우파리적평정도고우일반방법제작적개질층적평정도,소이기건적발사균균성비교호.
