发光学报
髮光學報
발광학보
CHINESE JOURNAL OF LUMINESCENCE
2006年
1期
129-133
,共5页
樊志琴%闫书霞%姚宁%鲁占灵%杨仕娥%马丙现%张兵临
樊誌琴%閆書霞%姚寧%魯佔靈%楊仕娥%馬丙現%張兵臨
번지금%염서하%요저%로점령%양사아%마병현%장병림
碳纳米管%微波等离子体化学气相沉积%场发射%拉曼光谱
碳納米管%微波等離子體化學氣相沉積%場髮射%拉曼光譜
탄납미관%미파등리자체화학기상침적%장발사%랍만광보
利用微波等离子体化学气相沉积(MWPCVD)方法,在不锈钢衬底上直接沉积碳纳米管膜.通过SEM、拉曼光谱和XRD表征,讨论了制备温度和甲烷浓度对碳纳米管膜场发射的影响.结果表明:不同条件下制备的碳纳米管膜的场发射性能有很大差异,保持氢气的流量(100 sccm)、生长时间(10 min)、反应室压力不变,当甲烷流量为8 sccm、温度为700～800 ℃时,场发射性能最好,开启场强仅为0.8 V/μm,发射点分布密集、均匀.
利用微波等離子體化學氣相沉積(MWPCVD)方法,在不鏽鋼襯底上直接沉積碳納米管膜.通過SEM、拉曼光譜和XRD錶徵,討論瞭製備溫度和甲烷濃度對碳納米管膜場髮射的影響.結果錶明:不同條件下製備的碳納米管膜的場髮射性能有很大差異,保持氫氣的流量(100 sccm)、生長時間(10 min)、反應室壓力不變,噹甲烷流量為8 sccm、溫度為700～800 ℃時,場髮射性能最好,開啟場彊僅為0.8 V/μm,髮射點分佈密集、均勻.
이용미파등리자체화학기상침적(MWPCVD)방법,재불수강츤저상직접침적탄납미관막.통과SEM、랍만광보화XRD표정,토론료제비온도화갑완농도대탄납미관막장발사적영향.결과표명:불동조건하제비적탄납미관막적장발사성능유흔대차이,보지경기적류량(100 sccm)、생장시간(10 min)、반응실압력불변,당갑완류량위8 sccm、온도위700～800 ℃시,장발사성능최호,개계장강부위0.8 V/μm,발사점분포밀집、균균.
