应用光学
應用光學
응용광학
JOURNAL OF APPLIED OPTICS
2005年
6期
77-80
,共4页
王多书%罗崇泰%刘宏开%马勉军%黄良甫
王多書%囉崇泰%劉宏開%馬勉軍%黃良甫
왕다서%라숭태%류굉개%마면군%황량보
掩模%聚光透镜%平面衍射%激光直写技术
掩模%聚光透鏡%平麵衍射%激光直寫技術
엄모%취광투경%평면연사%격광직사기술
针对目前二元光学元件掩模制作工艺过程的诸多不足,对连续型平面衍射聚光透镜掩模的激光直写制作工艺进行了研究.基于基尔霍夫标量衍射理论,采用光线追迹法设计了连续型平面衍射聚光透镜掩模.采用激光直写技术,利用CLWS-300M/C极坐标激光直写设备、S1830光刻胶和MICROPOSIT-351显影液,进行了刻写实验.实验表明,激光能量、预烘烤温度、显影液浓度以及预曝光对掩模微结构的制作均有影响.最后制作了掩模.与二元光学元件掩模的制作工艺相比,该技术具有工艺简单、制作周期短且易于操作的优点.
針對目前二元光學元件掩模製作工藝過程的諸多不足,對連續型平麵衍射聚光透鏡掩模的激光直寫製作工藝進行瞭研究.基于基爾霍伕標量衍射理論,採用光線追跡法設計瞭連續型平麵衍射聚光透鏡掩模.採用激光直寫技術,利用CLWS-300M/C極坐標激光直寫設備、S1830光刻膠和MICROPOSIT-351顯影液,進行瞭刻寫實驗.實驗錶明,激光能量、預烘烤溫度、顯影液濃度以及預曝光對掩模微結構的製作均有影響.最後製作瞭掩模.與二元光學元件掩模的製作工藝相比,該技術具有工藝簡單、製作週期短且易于操作的優點.
침대목전이원광학원건엄모제작공예과정적제다불족,대련속형평면연사취광투경엄모적격광직사제작공예진행료연구.기우기이곽부표량연사이론,채용광선추적법설계료련속형평면연사취광투경엄모.채용격광직사기술,이용CLWS-300M/C겁좌표격광직사설비、S1830광각효화MICROPOSIT-351현영액,진행료각사실험.실험표명,격광능량、예홍고온도、현영액농도이급예폭광대엄모미결구적제작균유영향.최후제작료엄모.여이원광학원건엄모적제작공예상비,해기술구유공예간단、제작주기단차역우조작적우점.
