电子工业专用设备
電子工業專用設備
전자공업전용설비
EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING
2005年
1期
25-27,62
,共4页
微传感器%读出系统%集成
微傳感器%讀齣繫統%集成
미전감기%독출계통%집성
微悬臂梁传感器是一种利用体硅加工技术和表面加工技术制备而成的一种基本微传感器类型,由微悬臂梁结构可以发展改进得到对于多种敏感物质响应的传感器件.同样,根据传感器原理,输出信号形式的不同,可以采用多种信号读出系统与其集成.在本文中将说明传感器与信号读出部件组成的微系统结构,以及应用实例,自支撑微悬臂梁结构通过光学和电学的信号读出系统组成能够完成一定功能的集成微系统.
微懸臂樑傳感器是一種利用體硅加工技術和錶麵加工技術製備而成的一種基本微傳感器類型,由微懸臂樑結構可以髮展改進得到對于多種敏感物質響應的傳感器件.同樣,根據傳感器原理,輸齣信號形式的不同,可以採用多種信號讀齣繫統與其集成.在本文中將說明傳感器與信號讀齣部件組成的微繫統結構,以及應用實例,自支撐微懸臂樑結構通過光學和電學的信號讀齣繫統組成能夠完成一定功能的集成微繫統.
미현비량전감기시일충이용체규가공기술화표면가공기술제비이성적일충기본미전감기류형,유미현비량결구가이발전개진득도대우다충민감물질향응적전감기건.동양,근거전감기원리,수출신호형식적불동,가이채용다충신호독출계통여기집성.재본문중장설명전감기여신호독출부건조성적미계통결구,이급응용실례,자지탱미현비량결구통과광학화전학적신호독출계통조성능구완성일정공능적집성미계통.
