光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2004年
6期
603-607
,共5页
温志渝%温中泉%徐世六%刘玉奎%张正元%陈刚%杨国渝
溫誌渝%溫中泉%徐世六%劉玉奎%張正元%陳剛%楊國渝
온지투%온중천%서세륙%류옥규%장정원%진강%양국투
压力传感器%过载保护%场致发射阴极锥尖阵列%各向异性腐蚀
壓力傳感器%過載保護%場緻髮射陰極錐尖陣列%各嚮異性腐蝕
압력전감기%과재보호%장치발사음겁추첨진렬%각향이성부식
提出了一种带过载保护功能的真空微电子压力传感器.对传感器的压力敏感膜尺寸、阴阳极间距等结构参数进行了分析计算;针对过载保护的问题,在结构上设计了过载保护环,实现了真空微电子压力传感器的过载自保护功能.采用硅的干、湿法结合的腐蚀、氧化锐化和真空键合等工艺技术,成功地研制出传感器实验样品.对传感器实验样品的参数进行了测试分析,其场致发射阴极锥尖阵列密度达24 000个/mm2,起始发射电压为0.5～1 V,反向电压≥25 V,当正向电压为5 V时,单尖发射电流为0.2 nA,压力灵敏度为0.1μA/KPa.
提齣瞭一種帶過載保護功能的真空微電子壓力傳感器.對傳感器的壓力敏感膜呎吋、陰暘極間距等結構參數進行瞭分析計算;針對過載保護的問題,在結構上設計瞭過載保護環,實現瞭真空微電子壓力傳感器的過載自保護功能.採用硅的榦、濕法結閤的腐蝕、氧化銳化和真空鍵閤等工藝技術,成功地研製齣傳感器實驗樣品.對傳感器實驗樣品的參數進行瞭測試分析,其場緻髮射陰極錐尖陣列密度達24 000箇/mm2,起始髮射電壓為0.5～1 V,反嚮電壓≥25 V,噹正嚮電壓為5 V時,單尖髮射電流為0.2 nA,壓力靈敏度為0.1μA/KPa.
제출료일충대과재보호공능적진공미전자압력전감기.대전감기적압력민감막척촌、음양겁간거등결구삼수진행료분석계산;침대과재보호적문제,재결구상설계료과재보호배,실현료진공미전자압력전감기적과재자보호공능.채용규적간、습법결합적부식、양화예화화진공건합등공예기술,성공지연제출전감기실험양품.대전감기실험양품적삼수진행료측시분석,기장치발사음겁추첨진렬밀도체24 000개/mm2,기시발사전압위0.5～1 V,반향전압≥25 V,당정향전압위5 V시,단첨발사전류위0.2 nA,압력령민도위0.1μA/KPa.
