真空电子技术
真空電子技術
진공전자기술
VACUUM ELECTRONICS
2003年
6期
29-32
,共4页
干蜀毅%陈长琦%朱武%王先路
榦蜀毅%陳長琦%硃武%王先路
간촉의%진장기%주무%왕선로
环境扫描电子显微镜(ESEM)%多重狭缝%成像信号%二次电子%ET探头%环境二次电子探头%气体二次电子探头
環境掃描電子顯微鏡(ESEM)%多重狹縫%成像信號%二次電子%ET探頭%環境二次電子探頭%氣體二次電子探頭
배경소묘전자현미경(ESEM)%다중협봉%성상신호%이차전자%ET탐두%배경이차전자탐두%기체이차전자탐두
系统介绍了环境扫描电子显微镜(ESEM)的研制历程和采用的关键技术.从常规扫描电子显微镜(SEM)的基本工作原理出发,列出了SEM成像信号产生的方式及特点.针对SEM在实际应用中暴露出的缺陷,ESEM提出了解决问题的措施.多重狭缝的采用,使样品室内压强可以大幅提高;而气体二次电子探头(GSED)的发明,使作为成像信号的二次电子信号得到加强.
繫統介紹瞭環境掃描電子顯微鏡(ESEM)的研製歷程和採用的關鍵技術.從常規掃描電子顯微鏡(SEM)的基本工作原理齣髮,列齣瞭SEM成像信號產生的方式及特點.針對SEM在實際應用中暴露齣的缺陷,ESEM提齣瞭解決問題的措施.多重狹縫的採用,使樣品室內壓彊可以大幅提高;而氣體二次電子探頭(GSED)的髮明,使作為成像信號的二次電子信號得到加彊.
계통개소료배경소묘전자현미경(ESEM)적연제역정화채용적관건기술.종상규소묘전자현미경(SEM)적기본공작원리출발,렬출료SEM성상신호산생적방식급특점.침대SEM재실제응용중폭로출적결함,ESEM제출료해결문제적조시.다중협봉적채용,사양품실내압강가이대폭제고;이기체이차전자탐두(GSED)적발명,사작위성상신호적이차전자신호득도가강.
