微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2003年
7期
359-361
,共3页
蔡新霞%李华清%饶能高%王利%崔大付
蔡新霞%李華清%饒能高%王利%崔大付
채신하%리화청%요능고%왕리%최대부
生物传感器%电化学器件%MEMS技术%集成化
生物傳感器%電化學器件%MEMS技術%集成化
생물전감기%전화학기건%MEMS기술%집성화
介绍了电化学生物传感器的分类、基本测试原理和研究进展,该类传感器可对多种生化参数进行直接实时动态检测,基于微机电系统(MEMS)加工技术和微电子IC制造技术,电化学传感器在向着微型化、集成化方向发展.
介紹瞭電化學生物傳感器的分類、基本測試原理和研究進展,該類傳感器可對多種生化參數進行直接實時動態檢測,基于微機電繫統(MEMS)加工技術和微電子IC製造技術,電化學傳感器在嚮著微型化、集成化方嚮髮展.
개소료전화학생물전감기적분류、기본측시원리화연구진전,해류전감기가대다충생화삼수진행직접실시동태검측,기우미궤전계통(MEMS)가공기술화미전자IC제조기술,전화학전감기재향착미형화、집성화방향발전.
