压电与声光
壓電與聲光
압전여성광
PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS
1999年
6期
431-432
,共2页
路小波%陆祖宏%周庆%王国著
路小波%陸祖宏%週慶%王國著
로소파%륙조굉%주경%왕국저
扫描隧道显微镜%压电材料%电致伸缩材料%驱动器
掃描隧道顯微鏡%壓電材料%電緻伸縮材料%驅動器
소묘수도현미경%압전재료%전치신축재료%구동기
概述了扫描隧道显微镜的工作原理,给出了采用压电材料的扫描控制方案及获取样品表面形貌信号的方法,介绍了系统中的z扫描驱动器,xy扫描驱动器(扫描平台)及其非线性修正方法.
概述瞭掃描隧道顯微鏡的工作原理,給齣瞭採用壓電材料的掃描控製方案及穫取樣品錶麵形貌信號的方法,介紹瞭繫統中的z掃描驅動器,xy掃描驅動器(掃描平檯)及其非線性脩正方法.
개술료소묘수도현미경적공작원리,급출료채용압전재료적소묘공제방안급획취양품표면형모신호적방법,개소료계통중적z소묘구동기,xy소묘구동기(소묘평태)급기비선성수정방법.
