太阳能学报
太暘能學報
태양능학보
ACTA ENERGIAE SOLARIS SINICA
2003年
2期
273-277
,共5页
杨田林%韩圣浩%高绪团%杨光德
楊田林%韓聖浩%高緒糰%楊光德
양전림%한골호%고서단%양광덕
柔性衬底%SnO2:Sb透明导电膜%射频磁控溅射
柔性襯底%SnO2:Sb透明導電膜%射頻磁控濺射
유성츤저%SnO2:Sb투명도전막%사빈자공천사
采用射频磁控溅射法在有机的柔性衬底上制备出了SnO2:Sb透明导电膜,讨论了薄膜的结构和光电性质对制备条件的依赖关系.制备的样品为多晶薄膜,并且保持了二氧化锡的金红石结构.对衬底适当的加热,当衬底温度为200℃时,在PI(Polyisocyanate聚酰亚胺)胶片上制备出了性能良好的薄膜,薄膜相应的自由载流子霍耳迁移率有最大值为13cm2/VS,载流子浓度为15.5×1019cm-3,薄膜的电阻率有最小值3.7×10-3Ω@cm.在可见光范围内,样品的相对透过率为85%左右.
採用射頻磁控濺射法在有機的柔性襯底上製備齣瞭SnO2:Sb透明導電膜,討論瞭薄膜的結構和光電性質對製備條件的依賴關繫.製備的樣品為多晶薄膜,併且保持瞭二氧化錫的金紅石結構.對襯底適噹的加熱,噹襯底溫度為200℃時,在PI(Polyisocyanate聚酰亞胺)膠片上製備齣瞭性能良好的薄膜,薄膜相應的自由載流子霍耳遷移率有最大值為13cm2/VS,載流子濃度為15.5×1019cm-3,薄膜的電阻率有最小值3.7×10-3Ω@cm.在可見光範圍內,樣品的相對透過率為85%左右.
채용사빈자공천사법재유궤적유성츤저상제비출료SnO2:Sb투명도전막,토론료박막적결구화광전성질대제비조건적의뢰관계.제비적양품위다정박막,병차보지료이양화석적금홍석결구.대츤저괄당적가열,당츤저온도위200℃시,재PI(Polyisocyanate취선아알)효편상제비출료성능량호적박막,박막상응적자유재류자곽이천이솔유최대치위13cm2/VS,재류자농도위15.5×1019cm-3,박막적전조솔유최소치3.7×10-3Ω@cm.재가견광범위내,양품적상대투과솔위85%좌우.
