硅酸盐通报
硅痠鹽通報
규산염통보
BULLETIN OF THE CHINESE CERAMIC SOCIETY
2002年
6期
13-16,26
,共5页
马亚鲁%孙小兵%王彦起%李建林
馬亞魯%孫小兵%王彥起%李建林
마아로%손소병%왕언기%리건림
电泳沉积技术%BaTiO3铁电薄膜%介电性能
電泳沉積技術%BaTiO3鐵電薄膜%介電性能
전영침적기술%BaTiO3철전박막%개전성능
采用电泳沉积技术在Pt电极基片上制备BaTiO3铁电陶瓷薄膜.探讨了电泳沉积过程中的控制因素(悬浮液体系、电场强度、料浆浓度、沉积时间等)对成膜性能的影响,并对薄膜材料的结构、性能进行了表征.实验结果表明:在1050℃(2h)的烧成温度下,经重复沉积-烧结2～3次可得到基本无缺陷的BaTiO3陶瓷薄膜.测量频率在1kHz时,室温(23℃)下的介电常数ε＝2300,介电损耗tanδ＝0.2.
採用電泳沉積技術在Pt電極基片上製備BaTiO3鐵電陶瓷薄膜.探討瞭電泳沉積過程中的控製因素(懸浮液體繫、電場彊度、料漿濃度、沉積時間等)對成膜性能的影響,併對薄膜材料的結構、性能進行瞭錶徵.實驗結果錶明:在1050℃(2h)的燒成溫度下,經重複沉積-燒結2～3次可得到基本無缺陷的BaTiO3陶瓷薄膜.測量頻率在1kHz時,室溫(23℃)下的介電常數ε＝2300,介電損耗tanδ＝0.2.
채용전영침적기술재Pt전겁기편상제비BaTiO3철전도자박막.탐토료전영침적과정중적공제인소(현부액체계、전장강도、료장농도、침적시간등)대성막성능적영향,병대박막재료적결구、성능진행료표정.실험결과표명:재1050℃(2h)적소성온도하,경중복침적-소결2～3차가득도기본무결함적BaTiO3도자박막.측량빈솔재1kHz시,실온(23℃)하적개전상수ε＝2300,개전손모tanδ＝0.2.
