真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2002年
5期
392-394
,共3页
钼酸铅晶体%红外增透膜%膜系设计
鉬痠鉛晶體%紅外增透膜%膜繫設計
목산연정체%홍외증투막%막계설계
本文讨论了用于钼酸铅晶体表面的宽带红外增透膜的设计以及其在真空环境中的制备.膜系设计中,运用反射率图解法以获得满意的光学性能;与传统的热蒸发镀膜工艺相比,在真空沉积过程中采用了离子辅助沉积技术,从而大大提高了膜层的光学特性及膜层品质.试验表明所镀膜层性能优异,在光纤通信领域具有广阔的应用前景.
本文討論瞭用于鉬痠鉛晶體錶麵的寬帶紅外增透膜的設計以及其在真空環境中的製備.膜繫設計中,運用反射率圖解法以穫得滿意的光學性能;與傳統的熱蒸髮鍍膜工藝相比,在真空沉積過程中採用瞭離子輔助沉積技術,從而大大提高瞭膜層的光學特性及膜層品質.試驗錶明所鍍膜層性能優異,在光纖通信領域具有廣闊的應用前景.
본문토론료용우목산연정체표면적관대홍외증투막적설계이급기재진공배경중적제비.막계설계중,운용반사솔도해법이획득만의적광학성능;여전통적열증발도막공예상비,재진공침적과정중채용료리자보조침적기술,종이대대제고료막층적광학특성급막층품질.시험표명소도막층성능우이,재광섬통신영역구유엄활적응용전경.